[发明专利]光电倍增管、放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法有效

专利信息
申请号: 200780006864.2 申请日: 2007-02-27
公开(公告)号: CN101390188A 公开(公告)日: 2009-03-18
发明(设计)人: 下井英树;名仓康二;久嶋浩之 申请(专利权)人: 滨松光子学株式会社
主分类号: H01J43/06 分类号: H01J43/06;G01T1/20;H01J43/22
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 党晓林
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光电倍增管 放射线 检测 装置 以及 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种光电倍增管(10),所述光电倍增管(10)在具有构成一侧端部的受光面板(13)和构成另一侧端部的芯柱(29)的真空容器内,具备:光电面(14),其将通过所述受光面板(13)入射的入射光转换为电子;电子倍增部,其使所述光电面(14)发射出的电子倍增;以及电子检测部,其具有阳极,所述阳极对所述电子倍增部倍增后的电子进行检测并将其作为输出信号输出,其特征在于,

所述电子倍增部具有:电极层叠部,其由多个倍增电极(Dy1~Dy12)层叠多层而成;电位供给单元(47),其对所述各倍增电极(Dy1~Dy12)分别提供预定的电位;以及聚焦电极(17),其使所述光电面(14)发射出的电子集束到所述电极层叠部,

在所述倍增电极(Dy1~Dy12)和所述阳极(25)的边缘部形成有缺口(24),

由所述缺口(24)形成的平面在所述倍增电极(Dy1~Dy12)的层叠方向(z)上重叠,所述电位供给单元(47)从所述芯柱(29)沿所述倍增电极(Dy1~Dy12)的层叠方向(z)延伸并贯穿由所述缺口(24)形成的平面,

所述聚焦电极(17)配置在所述电极层叠部和所述光电面(14)之间,在所述倍增电极(Dy1~Dy12)的层叠方向(z)上覆盖所述缺口(24)和所述倍增电极(Dy1~Dy12)。

2.根据权利要求1所述的光电倍增管(10),其特征在于,

在所述聚焦电极(17)中形成有狭缝,所述狭缝在与形成有所述缺口(24)的边缘部垂直的方向(x)上延伸。

3.根据权利要求1所述的光电倍增管(10),其特征在于,

所述电子倍增部规定多个通道,所述电子检测部具有通过与所述多个通道对应地以二维方式排列多个单位阳极(25)而成的多阳极,所述单位阳极(25)在与邻接的所述单位阳极(25)对置的对置边缘部具有凹部(28),在所述凹部(28)中设有桥残留部(26)。

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