[发明专利]光电倍增管、放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光电倍增管、使用了该光电倍增管的放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法。

背景技术

以往，公知有如下的光电倍增管：通过与光电面对置配置并层叠包含多个倍增极的电极而构成的电极层叠体，对设在真空容器的一侧的光电面发射出的电子进行放大并利用阳极对其进行检测。(例如，参照专利文献1至专利文献3)在这种光电倍增管中，在形成于构成电极层叠体的各电极的周缘部的连接片上，电连接有固定在构成真空容器的另一端的芯柱上的芯柱脚，结果构成为各电极的有效面收纳在由排列于各电极的周围的芯柱脚包围的区域内。并且，也存在形成为下述结构的光电倍增管：使与芯柱脚的连接部分突出至倍增极或阳极的有效面(例如参照专利文献4)。

专利文献1：日本特开平9-288992号公报(第4页，图2)

专利文献2：日本特开2000-149860号公报(第3页，图1)

专利文献3：WO 2003/098658号公报(第14页，图5(A))

专利文献4：日本特开昭59-221957号公报(第3页，图5)

但是，在专利文献1至专利文献3所述的例子中，构成为各电极的有效面收纳在由配置于各电极周围的芯柱脚包围的区域内，因此，电极的有效面积相应地缩小。

并且，在专利文献4所述的例子中，构成为使与芯柱脚的连接部分突出至倍增极和阳极的有效面，因此，有效地确保了各电极的有效面积，但是，从光电面的周缘部的、和突出至各电极的有效面的与芯柱脚之间的连接部分对应的区域发射出的电子不到达阳极，因此不能对其进行检测，存在电子的检测效率降低的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供能够有效地确保倍增极和阳极的有效面积且电子的检测效率高的光电倍增管、放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法。

为了解决上述课题，本发明的光电倍增管在具有构成一侧端部的受光面板和构成另一侧端部的芯柱的真空容器内，具备：光电面，其将通过受光面板入射的入射光转换为电子；电子倍增部，其使光电面发射出的电子倍增；以及电子检测部，其根据电子倍增部倍增后的电子送出输出信号，其特征在于，电子倍增部具有：电极层叠部，其由多个倍增电极层叠多层而成；电位供给单元，其对各倍增电极分别提供预定的电位；以及聚焦电极，其使光电面发射出的电子集束到电极层叠部，在倍增电极和阳极的边缘部形成有缺口，由缺口形成的平面在倍增电极的层叠方向上重叠，电位供给单元从芯柱沿倍增电极的层叠方向延伸并贯穿由缺口形成的平面，聚焦电极配置在电极层叠部和光电面之间，在倍增电极的层叠方向上覆盖缺口和倍增电极。

根据这样的结构，由于在各倍增极和阳极上设有缺口，因此能够有效地确保各倍增极和阳极的有效面积，能够提高电子的检测效率。并且，由于在光电面和倍增极之间，以覆盖倍增极的缺口部分的方式设有聚焦电极，对从光电面的与缺口部分对应的区域发射出的电子进行控制以使其到达倍增极上，因此进一步提高了电子的检测效率。并且，将倍增极和阳极的缺口抑制为最小限度，能够充分确保有效面积。另外，能够将由电子的行走时间差引起的信号的波动等抑制为最小限度。

优选在聚焦电极中形成有狭缝，狭缝在与形成有缺口的边缘部垂直的方向上延伸。

根据这样的结构，由于聚焦电极容易在狭缝方向上对电子进行控制，因此能够有效地使朝缺口部分飞来的电子入射至倍增极。

在上述任一光电倍增管中，也可以是电子倍增部规定多个通道，电子检测部具有通过与多个通道对应地以二维方式排列多个单位阳极而成的多阳极，单位阳极在与邻接的单位阳极对置的对置边缘部具有凹部，在凹部中设有桥残留部。

根据这样的结构，能够通过集中地制造、配置多个阳极，然后切断桥部来制造多个阳极，制造和组装容易，并且能够有效地确保阳极的有效面积。并且，由于桥残留部配置在缺口内，因此能够防止桥残留部间的放电。

在上述任一光电倍增管中，优选在配置于预定层的倍增电极中，与配置于其它层的所述倍增电极相比，设有更多的隔壁，所述隔壁用于阻碍按照入射光发射出的电子通过。

根据这样的结构，能够抑制多个各阳极检测到的电子数由于阳极的配置位置而产生偏差的情况。

也可以在上述任一光电倍增管的受光面板的外侧设置将放射线转换为光并输出的闪烁器而构成放射线检测装置。根据这样的结构，能够对放射线进行检测并将其作为信号输出。