[发明专利]用于液体处理盘形物体的装置及方法

权利要求书

1.一种用于对盘形物体进行液体处理的装置，其包括：

用于保持并转动盘形物体的转盘；

用于将液体分配到盘形物体上的分配机构；

用于收集当旋转时从盘形物体甩出的液体的液体收集机构；

与盘形物体平行设置且当盘形物体被所述转盘保持时面向盘形物体的板；

用于引导气体沿平行于所述板的方向横越所述板的导气机构，其中，导气机构包括用于收集气体的排气口和提供气体的气体源，其中排气口和气体源相对于一对称平面彼此相对设置，在进行处理时该对称平面垂直于盘形物体的平面。

2.如权利要求1所述的装置，其中，导气机构包括具有环室的第一部分的形状的排气室，以及具有环室的第二部分的形状的气体来源室。

3.如权利要求2所述的装置，其中，环室的第一部分和环室的第二部分都通过一个槽形环状开口连接到板和盘形物体之间的区域。

4.如权利要求3所述的装置，其中，环室的第一部分与环室的第二部分属于同一环室。

5.如权利要求4所述的装置，其中，环室的第一部分及环室的第二部分由一放射状壁彼此隔开。

6.如权利要求1所述的装置，其中，设置挡水板，用于将旋转时从盘形物体甩出的液体引导到一环形管中。

7.如权利要求1所述的装置，其还包括用于改变板和盘形物体之间距离的距离改变机构。

8.一种用于对盘形物体进行液体处理的方法，其包括：

转动盘形物体；

在旋转时将液体分配在盘形物体上；

收集旋转时从盘形物体甩出的液体；

设置与盘形物体平行且在旋转时面向盘形物体的板；

使用导气机构沿平行于所述板的方向引导气体横越该板，其中，导气机构包括用于收集气体的排气口和提供气体的气体源，其中排气口和气体源相对于一对称平面彼此相对设置，在进行处理时该对称平面垂直于盘形物体的平面。

9.如权利要求8所述的方法，其中，当气体沿平行于所述板的方向横越所述板时，盘形物体保持在距离所述板至少5mm的距离。

10.如权利要求8所述的方法，其中，当气体横越所述板时，盘形物体以至少10rpm的速度转动至少部分时间。