[发明专利]压印用模具和压印方法无效
| 申请号： | 200780007362.1 | 申请日： | 2007-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101394989A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 桥本和信 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;B29C33/40;G11B5/84;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴 娟;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压印 模具 方法 | ||
【权利要求书】：
1.压印用模具，该压印用模具是将在具有弹性的模具的表面形成的图案按压于在基板上形成的被转印层上进行转印的压印用模具，其特征在于：在上述模具的内部设置比重不同的区域，使图案形成面发生弹性变形，从而在按压于上述被转印层上时，上述图案形成面由其面内的规定部位依次接触。
2.权利要求1所述的压印用模具，其特征在于：上述模具的图案形成面的表面不平度通过上述模具的图案形成面与上述被转印基板贴合的形状来调节。
3.权利要求1或2所述的压印用模具，其特征在于：上述模具的图案形成面平坦，通过设置上述区域，该图案形成面发生弯曲。
4.权利要求1-3中任一项所述的压印用模具，其特征在于：上述区域导致的上述模具单位面积的载荷(P/A)在下式所表示的范围内：
P/A>(hw+hc)×E/L
P：区域带来的载荷
A：区域的截面积
hw：被转印基板表面的起伏幅度
hc：模具背面的起伏幅度
E：模具的弹性系数
L：模具的厚度。
5.压印方法，该方法是将在具有弹性的表面形成了图案的模具按压于在基板上形成的被转印层上进行转印的压印方法，其特征在于：在上述模具的内部设置比重不同的区域，使图案形成面弹性变形，使上述图案形成面由其面内规定的部位起依次接触地进行按压。
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