[发明专利]镁-铜组合物在镁蒸发中的应用以及镁分配器有效
| 申请号： | 200780008870.1 | 申请日： | 2007-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101448970A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | L·卡塔尼奥;A·博努斯;S·彼若拉;A·加利托格诺塔 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;H01L51/50;H05B33/26;H01J19/066 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李 帆 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组合 蒸发 中的 应用 以及 分配器 | ||
【权利要求书】：
1.镁-铜组合物在镁蒸发中的用途，其中所述组合物包含至多43.34重量％的镁。
2.根据权利要求1的镁-铜组合物在镁蒸发中的用途，所述组合物包含至少10重量％的镁。
3.根据权利要求1的镁-铜组合物在镁蒸发中的用途，其中所述组合物是Mg2Cu。
4.根据权利要求1的镁-铜组合物在镁蒸发中的用途，其中所述组合物是MgCu2。
5.根据权利要求1的镁-铜组合物在镁蒸发中的用途，其中所述组合物为粉末形式。
6.根据权利要求5的镁-铜组合物在镁蒸发中用途，其中所述粉末是球粒形式。
7.根据权利要求5的镁-铜组合物在镁蒸发中用途，其中所述粉末的颗粒尺寸小于1mm。
8.根据权利要求7的镁-铜组合物在镁蒸发中用途，其中所述粉末的颗粒尺寸小于500μm。
9.根据权利要求8的镁-铜组合物在镁蒸发中用途，其中所述粉末的颗粒尺寸为10-128μm。
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