[发明专利]镁-铜组合物在镁蒸发中的应用以及镁分配器有效
申请号: | 200780008870.1 | 申请日: | 2007-03-12 |
公开(公告)号: | CN101448970A | 公开(公告)日: | 2009-06-03 |
发明(设计)人: | L·卡塔尼奥;A·博努斯;S·彼若拉;A·加利托格诺塔 | 申请(专利权)人: | 工程吸气公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/26;H01L51/50;H05B33/26;H01J19/066 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李 帆 |
地址: | 意大*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组合 蒸发 中的 应用 以及 分配器 | ||
技术领域
本发明涉及镁-铜组合物在镁蒸发中的应用以及使用所述组合物的镁分配器。
背景技术
近来在OLED显示器(有机发光显示器)和所谓的“顶部发光OLEDs”(“顶部发光OLEDs”在本领域被简称为“TOLEDs”)的生产中发现了镁的一个新的应用领域。
在极端简化的情况下,OLED显示器由双层或多层的不同有机材料制成,其被包括在两组相互垂直的电极之间,其中一组由阴极构成而另一组由阳极构成。将该组件容纳在一个密封封闭的容器中,该容器具有至少一个透明的面作为显示图象的区域。对于该结构和OLED显示器操作的的具体描述可参考例如美国专利US 6,013,384,而对TOLED构造的详细例子可参考美国专利US 6,770,502。
在OLEDs中,镁与银构成合金用于制造阴极,如美国专利US 6,255,774中披露的(虽然后者涉及由碱金属、特别是锂制造的阴极),或如论文“Transparentstacked organic light emitting devices.I.Design principles andtransparent compound electrodes”,作者G.Gu等,刊登于应用物理学报(J.Appl.Phys.)86,8,4067(1999)中那样布置。
通过元素的蒸发以及其在OLED所需部位的冷凝而实施含镁沉积物的制备(特别地,在引用的申请中采用镁和银共蒸发)。
可以从纯金属源实施镁蒸发,但这会出现一些缺点。事实上,金属镁对于大气中的气体和湿气反应性很强。镁暴露于空气中形成的可能的化合物如氧化物、氢氧化物或碳酸盐,使得元素蒸发的可重复性降低,而且会导致氧和碳对所形成的沉积物的污染。因此,使用纯镁需要在受控的气氛中进行恒定处理,这使得输送、存储以及为使用的准备工作的实施变得复杂。所以,优选使用在室温下对空气保持稳定的镁的组合物形式的镁,而非纯金属态的镁。
公开号为JP47-044415的已审查的日本专利申请披露了一种蒸发镁的系统,其基于使用镁铝合金,而且特别基于含有铝-镁相图中的β和γ相的组合物。然而,自这些合金的镁蒸发对温度变化非常敏感而且其蒸发速率因此可控性差,特别是在初期步骤过程中。而且,对源自这些合金的蒸发膜进行的化学分析检测到了铝的存在,虽然为少量,但这是不期望的,因为这会改变阴极的电特性。
专利申请WO2005/111260披露了蒸发选自碱金属、碱土金属和镧系金属的金属的方法。这种方法在于形成在室温下稳定的这些金属的化合物,将该化合物粉末导入线状(filiform)的金属容器中,例如钢制的,该容器具有用于碱金属、碱土金属或镧系金属的蒸发的开口,并通过流过容器金属的直流电流来加热该线状系统。在该文献中提到的用于镁蒸发的有用化合物为镁-铝、镁-铟和镁-银合金。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于蒸发镁的组合物,从而得到稳定和可控的蒸发,以此能够具有可重复性而应用于工业过程中。
依照本发明达到了上述和其它的目的,其第一方面涉及镁-铜组合物在镁蒸发中的应用,所述组合物包含至多43.34重量%的镁,特别是化合物MgCu2,Mg2Cu或两者的混合物。第二方面,本发明涉及用于上述组合物的镁分配器。
附图说明
下面将参考如下附图对本发明进行说明:
图1示出了本发明的镁分配器的一种可能的实施例;
图2示出了本发明的镁分配器的另一种可能的实施例的剖视图;
图3为显示源自根据本发明使用的组合物的镁蒸发特性的曲线图;
图4为显示源自现有技术的组合物的镁蒸发特性的曲线图;和
图5为根据本发明使用的一种组合物和根据现有技术的组合物得到的两个另外的镁蒸发试验的对比曲线图。
具体实施方式
本发明人发现镁含量至多为43.34重量%的镁-铜组合物特别适合用于需要镁蒸发的工业应用,这是因为其在室温下稳定,而且不吸收大量的气体,从而得到可控的镁蒸发。除此之外,所述组合物易于制造,具有良好的机械性能,而且由源自这种组合物的金属蒸发而得到的镁沉积物(或含镁的沉积物)不含有痕量的铜。
本发明使用的组合物的镁含量至多为43.34重量%,对应于化合物Mg2Cu。也可以使用具有更高镁含量的组合物,但是其由该化合物与金属镁的机械混合物构成,而后者组分在纯镁情况下会导致在前面描述过的缺陷。
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