[发明专利]负型感光性含氟芳香族类树脂组合物有效

专利信息
申请号: 200780009349.X 申请日: 2007-03-15
公开(公告)号: CN101405655A 公开(公告)日: 2009-04-08
发明(设计)人: 江里口武;山本弘贤;鹤冈薰 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/004;H01L21/027
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 刘多益
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 感光性 芳香 族类 树脂 组合
【权利要求书】:

1.含氟芳香族类树脂膜的制造方法,所述含氟芳香族类树脂膜是将负型 感光性含氟芳香族类树脂组合物涂布于基材上,形成负型感光性含氟芳香族类 树脂组合物膜,曝光、显影而得到,具有凹凸形状,

所述的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物包含下述含氟芳香族预聚物、 至少1种感光剂和至少1种溶剂,

所述含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合 物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少 任一方、以下述式(1)

表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在 脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得,具有交联性官能团(A)和醚键,数均分 子量为1×103~5×105的含氟芳香族预聚物,

式中,n表示0~3的整数,a、b分别独立地表示0~3的整数,Rf1和Rf2分别 表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基,芳香环内的F表示该芳香环的 氢原子全部被氟原子取代;

所述含氟芳香族类树脂膜的制造方法的流程如下所述:

在50~250℃的温度下预烘焙,

曝光,

显影,

在80~200℃的温度下烘焙,

在150~450℃下的温度下进行加热处理。

2.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,相 对于100质量份含氟芳香族预聚物,包含0.1~30质量份感光剂。

3.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,感 光剂是光引发剂、光产酸剂、光产碱剂或光交联剂。

4.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,溶 剂是选自芳香烃类、偶极非质子类溶剂类、酮类、酯类、醚类以及卤代烃类中 的至少1种。

5.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,脱 HF剂是碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、氢氧化钠或氢氧化钾。

6.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,化 合物(Y-1)或化合物(Y-2)是具有反应性双键或三键的酚类或者具有反应性双 键或三键的含氟芳基类。

7.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,含 氟芳香族化合物(B)是全氟甲苯、全氟联苯、全氟(1,3,5-三苯基苯)或全氟 (1,2,4-三苯基苯)。

8.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,化 合物(C)是三羟基苯、1,1,1-三(4-羟基苯基)乙烷。

9.电子部件、电气部件或光学部件,其特征在于,具有通过权利要求 1所述的制造方法制得的含氟芳香族类树脂膜。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭硝子株式会社,未经旭硝子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200780009349.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top