[发明专利]负型感光性含氟芳香族类树脂组合物有效
申请号: | 200780009349.X | 申请日: | 2007-03-15 |
公开(公告)号: | CN101405655A | 公开(公告)日: | 2009-04-08 |
发明(设计)人: | 江里口武;山本弘贤;鹤冈薰 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;H01L21/027 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 刘多益 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 芳香 族类 树脂 组合 | ||
1.含氟芳香族类树脂膜的制造方法,所述含氟芳香族类树脂膜是将负型 感光性含氟芳香族类树脂组合物涂布于基材上,形成负型感光性含氟芳香族类 树脂组合物膜,曝光、显影而得到,具有凹凸形状,
所述的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物包含下述含氟芳香族预聚物、 至少1种感光剂和至少1种溶剂,
所述含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合 物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少 任一方、以下述式(1)
表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在 脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得,具有交联性官能团(A)和醚键,数均分 子量为1×103~5×105的含氟芳香族预聚物,
式中,n表示0~3的整数,a、b分别独立地表示0~3的整数,Rf1和Rf2分别 表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基,芳香环内的F表示该芳香环的 氢原子全部被氟原子取代;
所述含氟芳香族类树脂膜的制造方法的流程如下所述:
在50~250℃的温度下预烘焙,
曝光,
显影,
在80~200℃的温度下烘焙,
在150~450℃下的温度下进行加热处理。
2.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,相 对于100质量份含氟芳香族预聚物,包含0.1~30质量份感光剂。
3.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,感 光剂是光引发剂、光产酸剂、光产碱剂或光交联剂。
4.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,溶 剂是选自芳香烃类、偶极非质子类溶剂类、酮类、酯类、醚类以及卤代烃类中 的至少1种。
5.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,脱 HF剂是碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、氢氧化钠或氢氧化钾。
6.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,化 合物(Y-1)或化合物(Y-2)是具有反应性双键或三键的酚类或者具有反应性双 键或三键的含氟芳基类。
7.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,含 氟芳香族化合物(B)是全氟甲苯、全氟联苯、全氟(1,3,5-三苯基苯)或全氟 (1,2,4-三苯基苯)。
8.如权利要求1所述的含氟芳香族类树脂膜的制造方法,其特征在于,化 合物(C)是三羟基苯、1,1,1-三(4-羟基苯基)乙烷。
9.电子部件、电气部件或光学部件,其特征在于,具有通过权利要求 1所述的制造方法制得的含氟芳香族类树脂膜。
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