[发明专利]光电变换装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于对应于来自于外部的光的入射而产生光电子的光电变换装置的制造方法。

背景技术

作为一直以来作为光感器并行使其功能的电子装置，光电倍增管(PMT：Photomultiplier Tube)等的光电变换装置是众所周知的。这些光电变换装置至少具备：把光变换成电子的光电面(Photocathode)、用于取入所生成的电子的阳极、将这些光电面以及阳极容纳于其内部空间中的真空容器(外围器)。作为这样的光电变换装置，已知如下光电倍增管：其具备由玻璃制的上侧框架以及下侧框架和由硅材料制的侧壁框架而构成的外围器，同时具备被配置于该外围器的内部空间的光电面、电子倍增部以及阳极(参照下述专利文献1)。另外，已公开了一种电子管，其将阳极电极配置于包含将光电面形成于内侧的玻璃制的输入面板和金属制的侧管的真空容器内，输入面板和侧管夹持着低熔点金属而被密封(参照下述专利文献2)。

专利文献1：国际公开WO2005/078760号小册子

专利文献2：特开平10-241622号公报

发明内容

本发明者们对现有技术进行研究探讨的结果，发现了如下课题。即，现有的光电变换装置在接合构成真空容器的部材之间的工序中受到环境温度的影响，其结果，会有发生由于各个部材之间的热膨胀率的差而引起真空容器的歪曲的情况。如果发生了像这样的歪曲，那么就难以维持真空容器内的气密性，就会有光电面的特性被劣化的情况。另外，根据夹持着铟并在其熔点以下的温度接合构成真空容器的部材之间的冷铟法(cold indium method)，虽然能够维持光电面的特性，但是根据真空容器的材质不同有时它与铟等的接合材料的亲和性会变差。在此情况下，部材之间的接合就会不够完全，同样就会有真空容器的密封不能够充分维持的情况。

本发明是为了解决如上述那样的课题而完成的，其目的在于提供一种能够获得在不使光电面的特性劣化的情况下能充分维持该光电面的容纳空间的气密性的光电变换装置的制造方法。

为了解决上述的课题，本发明所涉及的光电变换装置的制造方法，其特征在于：使用一种特殊而卓越的方法来接合构成外围器的各个部材之间，该外围器具有容纳光电面等的内部空间。由本发明的制造方法所制造的光电变换装置具有外围器，该外围器具有内部被减压至指定的真空度的内部空间，并且至少在该外围器的一部分上面具有光入射窗，同时，该光电变换装置具备分别容纳于该外围器的内部空间的光电面以及阳极。外围器具备第一框架以及接合于该第一框架的第二框架。第一框架包含平板状部材和以围绕该平板状部材的主面中心的形式配设于该主面上的同时从该主面向垂直方向(在第一框架和第二框架面对面的状态下，从该第一框架朝向第二框架的方向)上延伸的侧壁。另外，第二框架包含平板状部材(在该第二框架上也可以设置有侧壁)。因此，至少容纳光电面以及阳极的外围器的内部空间，由第一框架的平板状部材主面、第一框架的侧壁以及第二框架的平板状部材主面所规定。

为了制造具有如上述那样的构造的光电变换装置，本发明所涉及的制造方法具备：在面对于第二框架的平板状部材主面的第一框架的侧壁端面上形成第一金属膜的第一步骤；在与第一框架的侧壁端面相面对的第二框架的平板状部材表面上的接合部位，直接或者间接地形成第二金属膜的第二步骤；将光电面以及所述阳极配置于外围器的内部空间内的第三步骤；将第一以及第二框架导入至减压至指定真空度的温度处于铟的熔点以下的真空空间内(比如，导入第一以及第二框架的真空转换装置内)的第四步骤；在该真空空间内接合第一框架和第二框架的第五步骤。