[发明专利]曝光装置无效
| 申请号： | 200780010788.2 | 申请日： | 2007-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN101410761A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 佐藤俊德;佐治伸仁;中村刚 | 申请（专利权）人： | 日本精工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/22 | 分类号： | G03F7/22 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨本良;文 琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种支承装置，所述支承装置相对于支承面，通过流体支承沿规定方向扫描且曝光的工件基板，其特征在于：
在所述支承面上设有朝向所述工件基板喷出流体的喷出部和回收自所述喷出部喷出的流体的回收部，所述回收部含有与所述工件基板的扫描方向非平行地延伸的排气槽。
2、如权利要求1所述的支承装置，其特征在于所述排气槽为直线状。
3、如权利要求1所述的支承装置，其特征在于，所述排气槽为曲线状。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本精工株式会社，未经日本精工株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200780010788.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：横向磁通电感应器
- 下一篇：用于发送和接收交通信息的方法及其装置
