[发明专利]显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法无效
| 申请号： | 200780011154.9 | 申请日： | 2007-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN101410759A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 中川英俊 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/1335;G02F1/1368;G09F9/00;G09F9/30 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示 面板 包括 制造 方法 | ||
1.一种显示面板用的基板，其特征在于，包括：
通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成的薄膜图案；和
表示所述分割曝光区域的边界位置的标记。
2.一种显示面板用的基板，其特征在于，包括：
通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成、并且所述分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案；和
表示该分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案中的至少一个薄膜图案的分割曝光区域的边界位置的标记。
3.如权利要求1或2所述的显示面板用的基板，其特征在于：
所述标记设置在所述分割曝光区域的边界线上和/或其附近。
4.如权利要求1～3中任一项所述的显示面板用的基板，其特征在于：
所述标记设置在遮光性的薄膜图案上，该薄膜图案设置于通过所述分割曝光形成的薄膜图案的外周附近。
5.如权利要求1～4中任一项所述的显示面板用的基板，其特征在于：
所述标记由与通过所述分割曝光形成的两个以上的薄膜图案中任一个相同种类的材料形成。
6.如权利要求1～5中任一项所述的显示面板用的基板，其特征在于：
所述薄膜图案为薄膜晶体管、黑矩阵、彩色滤光片中的任一个或多个。
7.一种显示面板，其特征在于，包括：
如权利要求1～6中任一项所述的显示面板用的基板。
8.一种显示面板用的基板的制造方法，其特征在于，包括：
形成表示通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成的薄膜图案的分割曝光区域的边界位置的标记的工序；和
基于该标记判别分割曝光区域的边界位置的工序。
9.一种显示面板用的基板的制造方法，其特征在于，包括：
在通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成、并且所述分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案中的至少一个薄膜图案上，形成表示分割曝光区域的边界位置的工序；和
基于该标记判别所述两个以上薄膜图案的边界位置的工序。
10.一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括：
形成表示通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成的薄膜图案的分割曝光区域的边界位置的标记的工序；和
基于该标记判别分割曝光区域的边界位置的工序。
11.一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括：
在通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成、并且所述分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案中的至少一个薄膜图案上，形成表示分割曝光区域的边界位置的工序；和
基于该标记判别所述两个以上薄膜图案的边界位置的工序。
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