[发明专利]显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法，特别是适当地涉及，通过包括用分割曝光按规定的形状形成光致抗蚀剂图案的工序的制造方法所制造的显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法。

背景技术

一般的液晶显示面板，具有包括隔开微小的间隔相对配设的两枚基板、在这些基板之间填充液晶的结构。在这些基板的其中一个基板的表面上，按矩阵状形成有像素电极，并且在该像素电极上形成有用于施加电压的薄膜晶体管、数据信号线(源极信号线)、扫描信号线(栅极信号线)等规定的要素。另外，在另一个基板的表面上，按矩阵状形成有黑矩阵、以及红色、蓝色、绿色的各色的着色层等要素，在这些的表面形成透明电极(公共电极)等要素。

上述各要素中，有的是用光刻法形成的。例如经过以下工序形成薄膜晶体管、黑矩阵、各色的着色层，在基板表面涂敷光致抗蚀剂材料的工序；在涂敷的光致抗蚀剂材料上通过光掩模曝光的工序；和除去光致抗蚀剂材料的不需要的部分的工序等。

在上述的涂敷的光致抗蚀剂材料上通过光掩模曝光的工序中，有的是使用分割曝光的。在分割曝光中，有从光掩模上形成的图案任意选择特定的图案或范围、在对基板的产品图案进行画面合成的同时分割为多个区域并进行曝光的方法。通过这样的分割曝光，能够用小面积的光掩模对大面积的曝光对象区域进行曝光，所以能够实现光掩模成本的低廉化。

但是，在这样的分割曝光中，在显示面板不能收容在一枚光掩模的情况下，有上述多个区域(以下称该区域为“分割曝光区域”)的边界不得不设定在显示面板的显示区域内的情况。并且，当每个分割曝光区域的曝光位置因某些原因而产生误差时，本来应当沿显示面板的显示区域的整个区域连续形成的图案，会有在分割曝光区域的边界上不连续的情况。

该位置误差变大时，会产生以下问题。在显示区域内形成的要素的图案在分割曝光区域的边界变得不连续时，在相对贴合两枚基板时，一枚基板表面形成的要素和另一枚基板表面形成的要素之间的位置关系，在每个分割曝光区域有差异。因此，液晶的显示特性有可能会在每个分割曝光区域有差异。另外，基板表面上形成的各要素的特性，有可能会在每个分割曝光区域有差异。并且，在分割曝光区域的边界上，有该差异能够观看地表现为筋状的亮度差和颜色不均等情况。

因此，为了制造显示品质优异的液晶显示面板，在液晶显示面板制造后，需要进行因曝光位置误差引起的亮度差和颜色不均等的检查。而且，在检测出曝光位置误差的情况下，需要把握发生的倾向，进行工序的管理和评价。

其中，可以列举日本特开2000-231184号公报作为与本发明关联的在先技术文献。

发明内容

但是，用分割曝光形成的要素是多个。因此，为了进行工序管理和评价，需要确定在检查等中检测出的亮度差和颜色不均等是在哪一个要素的分割曝光区域的边界上发生的。

但是，当某个特定的要素的分割曝光区域的边界的位置与其它特定的要素的分割曝光区域的边界的位置一致时，难以确定检测出的亮度差和颜色不均等是在哪一个要素的分割曝光区域的边界上发生的。因此，也难以进行工序的管理和评价。

另外，即使在某个特定的要素的分割曝光区域的边界的位置与其它特定的要素的分割曝光区域的边界的位置不一致时，首先也需要把握各要素的分割曝光区域的边界位于基板表面的哪个位置。即，在制造工序的检查等中检测出筋状的亮度差和颜色不均的情况下，需要对显示面板进行测量等来确认发生位置，对照设计图确定是在哪一个要素的分割曝光区域的边界发生的。因此，检查较为繁琐。

并且，在对制造的显示面板进行品质确认时，有确认在各要素的分割曝光区域的边界上是否产生筋状的亮度差和颜色不均的情况。这样的情况下，为了把握各要素的分割曝光区域的边界位置在何处，需要对显示面板进行测量等。因此，品质确认的作业较为繁琐。

鉴于上述实际情况，本发明要解决的课题在于：提供一种显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法，在用分割曝光形成规定的图案时，易于进行工序的管理和评价；提供一种显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法，在用分割曝光形成多个图案时，能够容易地识别各图案的分割曝光区域的边界位置；提供一种显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法，能够容易地进行显示面板的品质确认。