[发明专利]微影投射设备、气体洗涤方法、装置制造方法及洗涤气体的供应系统

权利要求书

1.一种用于将蒸气加到洗涤气体中的设备，该设备包括：

一个气体入口，该气体入口与一个或更多的可再生净化器以流体相连通，可再生净化器具有与一气体源以流体相连通的一气体入口及一与一蒸发器的洗涤气体入口以流体相连通的洗涤气体出口，该些净化器从到达该些净化器的一气体入口移除污染物，以形成一洗涤气体；

该蒸发器包括一个外罩与一个或更多的微孔中空纤维薄膜；该外罩包含一洗涤气体入口与一洗涤气体混合物出口，该洗涤气体混合物出口与该微孔中空纤维的一第一侧以流体相连通，并且该外罩包括一可蒸发液体入口与可蒸发液体出口，该可蒸发液体出口与该微孔中空纤维的一第二侧边以流体相连通，该些微孔中空纤维薄膜被处理以移除会劣化在一微影投射系统中的光学元件的光学特性的污染物，该些微孔中空纤维可以抵抗一可蒸发液体的液体侵入；

一温度调节系统，该温度调节系统将该蒸发器的温度、该洗涤气体混合物出口的温度或上述这些的组合的温度维持在一个或更多的设定点范围内；以及

一压力调节系统，该压力调节系统维持可蒸发液体与洗涤气体的压力，以防止在该些微孔中空纤维中在该可蒸发液体中形成洗涤气体的气泡。

2.如权利要求1所述的设备，其中，该温度调节系统进一步包括：一个温度控制器、一个加热器、冷凝器或是上述的一组合。

3.如权利要求1所述的设备，其中，该压力调节系统包括：一个压力控制器与一个背压调整器。

4.如权利要求1所述的设备，其中，该压力调节系统将该可蒸发液体的压力维持在大约5psi，或是较高于该洗涤气体压力。

5.如权利要求1所述的设备，其中，该温度调节系统将该洗涤气体混合物出口的温度维持在高于蒸气的凝结点。

6.如权利要求1所述的设备，其中，该温度调节系统独立于该洗涤气体的流率而维持该洗涤气体混合物的温度。

7.如权利要求1所述的设备，其进一步包括：一洗涤气体出口，该洗涤气体出口与该洗涤气体混合物出口以流体相连通。

8.如权利要求1所述的设备，其进一步包括：一液体收集器。

9.如权利要求1所述的设备，其包括：一个或更多的蒸发器。

10.如权利要求1所述的设备，其中，该洗涤气体混合物具有小于1ppb的会劣化在一微影投射系统中光学元件的光学特性的污染物。

11.一种用于将蒸气加到洗涤气体中的方法，该方法包括：

利用一个温度调节系统将一蒸发器的温度、该蒸发器的一洗涤气体入口的温度或是上述的组合的温度控制在一个或更多的设定点范围内；

利用一个压力调节系统控制在该蒸发器中被一个或更多的微孔中空纤维所隔开的一种可蒸发液体与一种洗涤气体的压力，用以降低在该些微孔中空纤维中的可蒸发液体中形成洗涤气体气泡；以及

将一洗涤气体与在该蒸发器中的可蒸发液体相接触，该蒸发器包括一个外罩与该一个或更多的微孔中空纤维薄膜，该外罩包括一洗涤气体入口与一洗涤气体混合物出口，该洗涤气体混合物出口与该一个或更多的微孔中空纤维的一第一侧以流体相连通，该外罩包括一个可蒸发液体入口与可蒸发液体出口，该可蒸发式液体出口与该些微孔中空纤维的第二侧以流体相连通，该些微孔型中空纤维薄膜被处理，以移除会劣化在一微影投射系统中光学元件的光学特性的可蒸发污染物，以及该些微孔中空纤维可以抵抗藉由一可蒸发液体的液体侵入。

12.如权利要求11所述的方法，其中，该压力调节系统将该可蒸发液体的压力维持在大约5psi，或是更高于该洗涤气体压力。

13.如权利要求11所述的方法，其中，该温度调节系统将该洗涤气体混合物出口的温度维持在高于蒸气的凝结点。

14.如权利要求11所述的方法，其中，该温度调节系统独立于该洗涤气体的流率而维持该洗涤气体混合物的温度。

15.如权利要求11所述的方法，其进一步包括：利用来自该蒸发器的洗涤气体混合物出口的洗涤气体混合物来混合该洗涤气体的动作。

16.如权利要求11所述的方法，其进一步包括：将该洗涤气体混合物通过一个液体捕获器并且移除液体的动作。