[发明专利]弹性表面波装置有效
| 申请号： | 200780013480.3 | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101421921A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 西山健次;中尾武志;门田道雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种弹性表面波装置，利用瑞利波，具备：
欧拉角为(0°±5°，θ±5°，0°±10°)的LiNbO3基板；
电极，形成于所述LiNbO3基板上，包括以Cu为主体的IDT电极， 并且所述IDT电极具有电极指；
第1氧化硅膜，在所述IDT电极的电极指间，形成为厚度与所述电极 相等；和
第2氧化硅膜，形成为覆盖所述电极和第1氧化硅膜；
当表面波的波长为λ时，所述电极的膜厚为0.12λ～0.18λ的范围， 所述欧拉角(0°±5°，θ±5°，0°±10°)的θ为满足下式(1)的范围，
θ＝32.01-351.92×exp(-TCU/0.0187) …式(1)
其中，TCU：以波长λ对Cu电极膜厚归一化后的值。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于：
所述第2氧化硅膜的膜厚H为0.15λ～0.50λ的范围。
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