[发明专利]工件搬运装置及电子器件搬运装置

权利要求书

1.一种工件搬运装置，具备：

搬运台，该搬运台具有搬运工件的搬运面，

搬运桌，该搬运桌具有与所述搬运台的所述搬运面相对配置的第1面和与 第1面相反一侧的第2面，且具备贯穿第1、第2面的贯穿孔，

驱动装置，该驱动装置与所述搬运桌及/或所述搬运台连接，从而可在所述 搬运桌的第1面与所述搬运台的搬运面相对的状态下使所述搬运桌相对于搬运 面边滑动边移动；

在将工件插入所述搬运桌的所述贯穿孔的状态下，通过使所述搬运桌相对 于所述搬运面移动来搬运所述工件，其特征在于，

在所述搬运台的搬运面上设有使压缩气体喷出用的喷出孔，用于取出插入 所述贯穿孔的所述工件，该喷出孔被设在工件取出位置，成为与所述贯穿孔重 合的状态，

还具备与所述喷出孔连接的压缩气体供给装置，

所述喷出孔的在所述搬运桌一侧的开口部的总面积大于所述工件的与所 述搬运台的所述搬运面侧相对的端面的面积，

使压缩气体喷出的所述喷出孔的开口部由多个使压缩气体朝所述工件喷 出的喷嘴部的开口构成，多个所述喷嘴部的开口配置成使所述工件跨多个所述 喷嘴部的开口，

各所述喷嘴部的开口呈长孔状的形状，该长孔状的形状的长度方向与电子 器件的搬运方向大概一致，

在长孔状的所述喷嘴部的开口彼此之间设有卡止部，该卡止部沿着所述工 件的搬运方向延伸。

2.如权利要求1所述的工件搬运装置，其特征在于，

在所述搬运台的搬运面上设置与所述贯穿孔连接的吸引用凹部，在所述搬 运桌的第1面上形成与所述贯穿孔相连且与所述吸引用凹部连通的吸引沟，还 具备与该吸引用凹部连接的吸引装置。

3.如权利要求1或2所述的工件搬运装置，其特征在于，

所述喷出孔具有：喷出孔本体部，以及连接喷出孔本体部和喷出孔的所述 开口部、比喷出孔本体部更细的喷嘴部；该喷嘴部的压缩气体流道长度为所述 贯穿孔的在所述搬运面侧的开口部面积的平方根的60％以下。

4.如权利要求1或2所述的工件搬运装置，其特征在于，

所述喷出孔的所述开口部为长孔状形状，其长度方向为所述工件搬运方 向。

5.如权利要求1所述的工件搬运装置，其特征在于，

多个所述喷嘴部是第1、第2喷嘴部，所述工件的一部分位于第1、第2 喷嘴部间。

6.如权利要求1或2所述的工件搬运装置，其特征在于，

所述搬运桌是具有中心轴的圆盘状形状，该搬运桌被所述驱动装置驱动而 绕着中心轴旋转；

供所述工件插入的所述贯穿孔由于所述搬运桌的旋转驱动而沿搬运桌的 周方向移动而构成。

7.如权利要求1或2所述的工件搬运装置，其特征在于，

以搬运电子器件作为工件。