[发明专利]感光性树脂层压体有效
申请号: | 200780015494.9 | 申请日: | 2007-04-26 |
公开(公告)号: | CN101432661A | 公开(公告)日: | 2009-05-13 |
发明(设计)人: | 五十岚勉 | 申请(专利权)人: | 旭化成电子材料元件株式会社 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 层压 | ||
1.一种感光性树脂层压体,其特征在于,该感光性树脂层压体按顺序含有支撑薄膜、以及该支撑薄膜上的层厚为0.1μm以上10μm以下的中间层、和感光性树脂层而成,其中,该中间层含有聚乙烯醇和选自下述通式(I)所示的化合物所组成的组中的1种以上化合物,
R1-O-(CH2CH2O)n1-R2 (I)
R1和R2为H或CH3,这些可以相同、也可以不同,n1为3~25的整数,
该感光性树脂层为由感光性树脂组合物形成的层,该感光性树脂组合物含有:(a)羧基含量以酸当量计为100~600、重均分子量为5000~500000的粘合剂用树脂:20~90质量%、(b)至少一种可光聚合的不饱和化合物:3~70质量%、(c)光聚合引发剂:0.1~20质量%。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂层压体,前述感光性树脂层上进一步层叠保护层。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂层压体,前述(a)粘合剂用树脂含有(甲基)丙烯酸苄酯作为共聚成分。
4.根据权利要求2所述的感光性树脂层压体,前述(a)粘合剂用树脂含有(甲基)丙烯酸苄酯作为共聚成分。
5.根据权利要求1~4任一项所述的感光性树脂层压体,前述(b)至少一种可光聚合的不饱和化合物为选自下述通式(II)~(VI)所示的化合物所组成的组中的至少一种可光聚合的不饱和化合物,
[化学式1]
式中,R4和R5为H或CH3,这些可以相同、也可以不同,n2、n3和n4各自独立为3~20的整数,
[化学式2]
式中,R6和R7为H或CH3,这些可以相同、也可以不同,A为C2H4、B为CH2CH(CH3)、n6+n7为2~40的整数、n8+n9为0~40的整数、n6和n7各自独立为1~39的整数、n8和n9各自独立为0~40的整数,-(A-O)-和-(B-O)-的重复单元的排列可以为无规、也可以为嵌段,为嵌段时,-(A-O)-和-(B-O)-的顺序是任一个在双苯基侧皆可,
[化学式3]
式中,R8和R9为H或CH3,这些可以相同、也可以不同,D为C2H4、E为CH2CH(CH3)、m1+m2为2~40的整数、m3+m4为0~40的整数、m1和m2各自独立为1~39的整数、m3和m4各自独立为0~40的整数,-(D-O)-和-(E-O)-的重复单元的排列可以为无规、也可以为嵌段,为嵌段时,-(D-O)-和-(E-O)-的顺序是任一个在环己基侧皆可,
[化学式4]
式中,R10为碳原子数4~12的2价的有机基,R11和R12为H或CH3,这些可以相同、也可以不同,m5和m6各自独立为1~15 的整数,
[化学式5]
式中,R13为H或CH3、R14为碳原子数4~14的烷基、A’为C2H4、B’为CH2CH(CH3)、m7为1~12、m8为0~12、m9为0~3的整数,-(A’-O)-和-(B’-O)-的重复单元的排列可以为无规、也可以为嵌段,为嵌段时,-(A’-O)-和-(B’-O)-的顺序是任一个在苯基侧皆可。
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