[发明专利]微机电系统（MEMS）可变电容器、激励部件及相关方法

权利要求书

1.一种微机电系统可变电容器，包括：

包括表面的衬底；

至少基本彼此平行地在所述衬底的所述表面上延伸的第一馈电线和第二馈电线；

与所述第一馈电线和所述第二馈电线间隔开的第一电容板和第二电容板，其中所述第一电容板和所述第二电容板可相对于所述第一馈电线和所述第二馈电线中的至少一个单独移动，以在预定电容范围内改变所述第一馈电线和所述第二馈电线之间的电容；以及

屏蔽材料，所述屏蔽材料位于所述衬底之内并且位于基本在所述第一馈电线和所述第二馈电线以及所述第一电容板和所述第二电容板下方的区域内，以减少耦合到所述衬底的RF干扰和损耗之一。

2.根据权利要求1所述的微机电系统可变电容器，其中所述第一馈电线和所述第二馈电线分别连接到第一馈电焊盘和第二馈电焊盘。

3.根据权利要求1所述的微机电系统可变电容器，其中所述屏蔽材料连接到所述第一馈电线和所述第二馈电线中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的微机电系统可变电容器，其中所述屏蔽材料连接到地。

5.根据权利要求1所述的微机电系统可变电容器，其中所述屏蔽材料是CMOS互连金属。

6.根据权利要求1所述的微机电系统可变电容器，其中所述屏蔽材料是所述衬底内的层。

7.根据权利要求1所述的微机电系统可变电容器，包括可相对于所述第一馈电线和所述第二馈电线中的至少一个移动的第一激励部件和第二激励部件，其中所述第一电容板和所述第二电容板分别附着于所述第一激励部件和所述第二激励部件。

8.根据权利要求7所述的微机电系统可变电容器，其中所述第一激励部件和所述第二激励部件中的每一个激励部件相对于所述第一馈电线和所述第二馈电线在一端是固定的，并且其中所述第一激励部件和所述第二激励部件中的每一个激励部件可沿至少基本平行于所述第一馈电线和所述第二馈电线的方向移动。

9.根据权利要求7所述的微机电系统可变电容器，其中所述第一激励部件和所述第二激励部件中的每一个激励部件包括相对于所述第一馈电线和所述第二馈电线固定的两端，并且其中所述第一激励部件和所述第二激励部件中的每一个激励部件可沿至少基本平行于所述第一馈电线和所述第二馈电线的方向移动。

10.根据权利要求7所述的微机电系统可变电容器，其中所述第一激励部件和所述第二激励部件中的每一个激励部件包括：

间隔开的第一激励电极和第二激励电极，其中所述第一激励电极和所述第二激励电极中的至少一个激励电极可相对于所述第一激励电极和所述第二激励电极中的另一个激励电极移动；以及

附着于所述第一激励电极和所述第二激励电极中的每一个激励电极的可移动部件，其中所述可移动部件包括可动端和固定端，其中当在所述第一激励电极和所述第二激励电极之间施加电压时，所述可动端可移动。

11.根据权利要求7所述的微机电系统可变电容器，其中所述第一激励部件和所述第二激励部件中的每一个激励部件包括：

间隔开的第一激励电极和第二激励电极，其中所述第一激励电极和所述第二激励电极中的至少一个激励电极可相对于所述第一激励电极和所述第二激励电极中的另一个激励电极移动；以及

附着于所述第一激励电极的可移动部件，其中所述可移动部件包括可动部分以及第一固定端和第二固定端，其中当在所述第一激励电极和所述第二激励电极之间施加电压时，所述可动部分可移动。

12.根据权利要求7所述的微机电系统可变电容器，其中所述屏蔽材料位于基本在所述第一激励部件和所述第二激励部件下方的区域中。