[发明专利]空气桥结构及制造和使用空气桥结构的方法

权利要求书

1.一种探针卡组件，包括：

配置成与测试控制器进行电连接的测试器接口；

设置成与要测试的电子设备的端子接触的多个导电探针；以及

连接所述测试器接口和所述探针的多个导电数据通道，

其中所述数据通道的至少之一包括空气桥结构迹线，其包括通过多个塔柱 与导电板隔离开的导电迹线。

2.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，任一所述塔柱包括介 电材料。

3.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，还包括衬底，其中所 述板设置在所述衬底上，所述塔柱的第一端附连到所述板，而所述迹线则附连 到所述塔柱的第二端。

4.如权利要求3所述的探针卡组件，其特征在于，所述板电连接到一电 压电位。

5.如权利要求4所述的探针卡组件，其特征在于，所述电压电位是接地。

6.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，还包括其上设置有所 述探针的探针衬底，其中所述空气桥结构迹线设置在所述探针衬底上。

7.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，还包括其上设置有所 述测试器接口的至少一部分的衬底，其中所述空气桥结构迹线设置在所述衬底 上。

8.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述多个数据通道各 自包括空气桥结构迹线，其包括通过多个介电塔柱与所述板分隔开的导电迹 线。

9.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述迹线和所述板之 间沿着所述迹线至少75％长度的介电材料是空气。

10.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述迹线和所述板之 间沿着所述迹线至少90％长度的介电材料是空气。

11.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述数据通道的至少 之一被配置成将测试数据提供给要测试的所述电子设备或从中提供测试数据， 其中所述测试数据包括要输入到所述电子设备中的数据和由所述电子设备输 出的数据的至少之一。

12.一种测试至少一个电子设备的方法，所述方法包括：

通过测试控制器和至少一个电子设备之间的探针卡组件提供测试数据，

其中所述提供测试数据包括使所述测试数据的至少一部分通过所述探针 卡组件上的空气桥结构迹线，所述空气桥结构迹线包括通过多个塔柱与导电板 分隔开的导电迹线。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，任一所述塔柱包括介电材 料。

14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述探针卡组件包括衬底， 而且所述板设置在所述衬底上，所述塔柱的第一端附连到所述板，而所述迹线 附连到所述塔柱的第二端。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述板电连接到一电压电 位。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述电压电位是接地。

17.如权利要求12所述的方法，其特征在于，设置成与至少一个电子设 备接触的探针被设置在所述衬底上。

18.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述迹线和所述板之间沿 着所述迹线至少75％长度的介电材料是空气。

19.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述迹线和所述板之间沿 着所述迹线至少90％长度的介电材料是空气。

20.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述测试数据包括要输入 到所述至少一个电子设备中的测试输入数据和由所述至少一个电子设备响应 于任一所述测试输入数据所产生的响应数据。

21.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述提供测试数据包括使 所述测试数据的至少一部分通过所述探针卡组件上的多个空气桥结构迹线，每 一个所述空气桥结构迹线包括通过多个介电塔柱与导电板分隔开的导电迹线。