[发明专利]用于送入/取出基板的方法及系统和感光层叠体制造设备

权利要求书

1.一种基板送入/取出方法，所述基板送入/取出方法从上游装置顺序地送入基板并将所述基板循环地储存在基板储存设备的多个基板储存室中，然后在预定周期后将所述基板从所述基板储存室顺序地取出并输送到下游装置，所述方法包括步骤：

将所有的所述基板储存室分成正常储存区或缓冲区；

所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出；

当出现故障使所述下游装置停止时，延缓将所述基板取出到所述下游装置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述缓冲区中；

当所述故障被解决且所述下游装置恢复操作时，将与储存在所述缓冲区中一样多的所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区取出并输送到所述下游装置；

将所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区顺序地取出并输送到所述下游装置，同时从所述上游装置顺序地送入所述基板并将所述基板储存在所述正常储存区中；以及

当所有所述基板已经被从所述缓冲区取出时，所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出。

2.一种基板送入/取出方法，所述基板送入/取出方法从上游装置顺序地送入基板并将所述基板循环地储存在基板储存设备的多个基板储存室中，然后在预定周期后将所述基板从所述基板储存室顺序地取出并输送到下游装置，所述方法包括步骤：

送入和取出所述基板，使得预定数量的所述基板储存室总是保持空闲；

当出现故障使所述下游装置停止时，延缓取出所述基板到所述下游装置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述空闲基板储存室中；

当所述故障被解决且所述下游装置恢复操作时，取出与所述故障期间储存的一样多的所述基板，并将所述基板输送到所述下游装置；以及

当所述故障期间储存的所有所述基板已经取出时，送入和取出所述基板，使得预定数量的所述基板储存室总是保持空闲。

3.根据权利要求1所述的基板送入/取出方法，其中，以从所述预定周期耗费的时间的下降顺序，将所述基板从所述基板储存室取出并输送到所述下游装置。

4.根据权利要求2所述的基板送入/取出方法，其中，以从所述预定周期耗费的时间的下降顺序，将所述基板从所述基板储存室取出并输送到所述下游装置。

5.一种基板送入/取出系统，所述基板送入/取出系统从上游装置顺序地送入基板并将所述基板循环地储存在基板储存设备的多个基板储存室中，然后在预定周期后将所述基板从所述基板储存室顺序地取出并输送到下游装置，所述系统包括：

储存传感器，所述储存传感器设置在每个所述基板储存室中，用于检测所述基板的存在；

基板送入/取出装置，所述基板送入/取出装置将所述基板送入所述基板储存室并从所述基板储存室中取出；

储存管理装置，所述储存管理装置用于根据所述储存传感器的检测结果产生管理信息，所述管理信息包括每一个所述基板储存室中的所述基板的存在/不存在、以及起自所述基板送入所述基板储存室的储存期；以及

用于根据所述管理信息控制所述基板送入/取出装置的送入/取出管理装置。

6.根据权利要求5所述的基板送入/取出系统，其中，所述送入/取出管理装置驱动所述基板送入/取出装置以执行步骤：

将所有的所述基板储存室分成正常储存区或缓冲区；

所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出；

当出现故障使所述下游装置停止时，延缓将所述基板取出到所述下游装置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述缓冲区中；

当所述故障被解决且所述下游装置恢复操作时，将与储存在所述缓冲区中一样多的所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区取出并输送到所述下游装置；

将所述基板顺序地从所述正常储存区和所述缓冲区取出并输送到所述下游装置，同时从所述上游装置顺序地送入所述基板并将所述基板储存在所述正常储存区中；以及

当所有所述基板已经被从所述缓冲区取出时，所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出。