[发明专利]用于送入/取出基板的方法及系统和感光层叠体制造设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于利用具有多个基板储存室的基板储存设备送入和取出基板的方法和系统、以及配备有该基板送入/取出系统的感光层叠体制造设备。

背景技术

用于液晶显示面板和等离子显示面板的彩色滤光片由玻璃基板(即，基材)以及预定图案的感光树脂层组成。感光树脂层首先粘接到玻璃基板，然后被曝光、显影、并清洗以获得预定的图案。对红色、绿色、蓝色以及黑色感光树脂中的每个重复此过程，使得红色、绿色、蓝色滤光片以及环绕这些彩色滤光片的黑矩阵形成于玻璃基板上。

玻璃基板和还未形成图案的感光树脂层(在下文中称为感光层叠体)的粘接产品通过例如公开在日本专利公开出版物第2003-062906号中的感光层叠体制造设备制造。在此制造设备中，包括长基膜以及在其上的感光树脂层的感光薄片(photosensitive web)粘接到以恒定的时间间隔输送的玻璃基板，然后，在每个玻璃基板之间切割感光薄片，从而生成玻璃基板和感光树脂层的粘接基板。然后，只从粘接基板上剥离基膜，获得感光层叠体。

在粘接到一起之前，将玻璃基板和感光薄片加热以软化感光树脂层，用于更好地粘接。然而，软化的感光树脂层可能会粘附到基膜，并且当剥离基膜时与玻璃基板分离开。鉴于此问题，在基膜剥离操作之前要冷却粘接基板。因此，传统地是提供一种冷却机构，所述冷却机构在将冷空气吹送到制造设备的感光薄片切割部分和基膜剥离部分之间的粘接基板上的同时输送所述基板。可供选择地，粘接基板储存在基板储存设备(substratestocker)的基板储存室中直到该基板被冷却为止。

例如，这种基板储存设备公开在日本专利公开出版物第2002-154648号、第2001-308158号以及第2003-045935号中。公开出版物第2002-154648号的基板储存设备配备有储存传感器或线传感器，以检测基板的尺寸、方位和排列。公开出版物第2001-308158号的基板储存设备配备有过滤器、气体去除装置以及温度控制器。公开出版物第2003-045935号的基板储存设备构成为竖直地储存玻璃基板。另外，作为在清洁环境下处理基板的技术的一部分，日本专利公开出版物第2003-282669号公开了一种基板运送装置，所述基板运送装置的生产线分成几个运送线以提供缓冲功能。

然而，吹送冷空气的冷却方法有时导致将灰尘传送到粘接基板上。另外，在此情况下，粘接基板需要输送相对较长的距离，使得该基板可以冷却到特定的温度，但因此将损失设备的空间效率。

另一方面，使用所述基板储存设备的冷却方法具有对基板储存设备的容量的限制。因此，如果一个下游装置陷入停止基板的输送的故障，则一些玻璃基板将被留在上游加热部分中并在该处被长时间加热，从而达到过高的高温。另外，如果粘接基板停止在层压辊附近，则感光树脂层可能将由于层压辊的热量被雾笼罩。

虽然由基板的这种滞留造成的这些问题通过公开出版物第2003-282669号的缓冲功能被解决，但此缓冲功能将增加设备的尺寸，造成成本和空间问题。如果基板储存设备具有公开出版物第2003-045935号中提及的缓冲功能也很有效，但其没有清晰地公开如何实现此缓冲功能。

鉴于上述问题，本发明的主要目的是提供一种基板送入/取出方法和系统，所述方法和系统能够冷却基板而不弄脏基板，并且还能够在下游装置遇到麻烦时在上游装置处适当地保护玻璃基板和粘接基板。

本发明的另一目的是提供一种配备有该基板送入/取出系统的感光层叠体制造设备。

发明内容

为了实现以上目的和其它目的，根据本发明的基板送入/取出方法将基板储存设备的所有基板储存室分成正常储存区或缓冲区。循环地使用基板储存室来储存从上游装置送入的基板，且在预定的周期后顺序地取出基板并将基板输送到下游装置。通常，只将基板送入正常储存区中及从正常储存区中取出基板。如果出现故障而使下游装置停止，则延缓基板取出步骤，且上游装置处的基板储存在缓冲区中。当故障获得解决且下游装置恢复操作时，将与储存在缓冲区中一样多的基板顺序地取出，并将所述基板从正常储存区和缓冲区输送到下游装置。然后，将基板从正常储存区和缓冲区顺序地取出，同时将从上游装置送入的基板储存在正常储存区中。当已经将缓冲区中的所有基板都取出时，基板仅送入正常储存区并从正常储存区中取出。