[发明专利]有机金属化合物的供给装置

权利要求书

1.一种用于供给有机金属化合物的装置，所述装置包括：

第一柱状容器和第二柱状容器，所述第一柱状容器和第二柱状容器填充有在室温下为固态的有机金属化合物；以及

连接构件，所述连接构件用于将所述第一容器和第二容器的内部在下端相互连接；

其中所述第一容器的上部装备有用于载气的入口，并且所述第二容器的上部装备有用于含有所述有机金属化合物的载气的出口。

2.根据权利要求1所述的供给装置，其中所述入口装备有气体进料管，所述气体进料管被安装在所述第一容器上，以使被引入所述第一容器中的所述载气碰撞所述第一容器的上壁表面。

3.根据权利要求2所述的供给装置，其中所述气体进料管的尖端在所述第一容器的内部指向朝上。

4.根据权利要求1所述的供给装置，其中所述入口装备有分散器，所述分散器用于分散被引入所述第一容器中的所述载气。

5.根据权利要求4所述的供给装置，其中所述分散器具有挡板，所述挡板用于通过允许所述载气与其碰撞以分散被引入所述第一容器中的所述载气。

6.根据权利要求4所述的供给装置，其中所述分散器具有被安置在所述第一容器内部的多孔管。

7.根据权利要求4所述的供给装置，其中所述分散器具有被安置在所述第一容器内部的过滤器。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的供给装置，其中所述第一容器和所述第二容器被安置为使它们相互隔开。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的供给装置，其中所述连接构件具有用于连接所述第一容器和所述第二容器的连通管。

10.根据权利要求9所述的供给装置，其中所述连通管由单根直管或多根直管组成。