[发明专利]用来处理高纯度材料的系统和方法

权利要求书

1.一种处理高纯度材料的方法，该方法包括下列行为：

将第一材料的流动引进第一单元操作；

监测第一单元操作的操作参数；

用增压气体充满第二单元操作；

清除来自第二单元操作的增压气体；以及

响应记录门限值的第一单元操作的操作参数将第一材料的流动转移到第二单元操作。

2.根据权利要求1的方法，进一步包括隔离第一单元操作。

3.根据权利要求2的方法，进一步包括冲洗第一单元操作。

4.根据权利要求2的方法，进一步包括将第一单元操作的操作参数恢复到门限值以下。

5.根据权利要求4的方法，其中恢复操作参数的行为包含更换第一单元操作的组成部分。

6.根据权利要求4的方法，进一步包括用增压气体装填第一单元操作。

7.根据权利要求6的方法，进一步包括将第一材料的流动恢复到第一单元操作。

8.根据权利要求7的方法，其中将第一材料的流动恢复到第一单元操作的行为包括清除来自第一单元操作的增压气体。

9.根据权利要求1的方法，进一步包括将第二材料的流动引进第三单元操作和监测第三单元操作的操作参数。

10.根据权利要求9的方法，进一步包括响应记录第二门限值的第三单元操作的操作参数将第二材料的流动转移到第二单元操作。

11.根据权利要求10的方法，进一步包括将第三单元操作的操作参数恢复到第二门限值以下。

12.根据权利要求11的方法，进一步包括将第二材料的流动恢复到第三单元操作。

13.根据权利要求1的方法，其中第一和第二单元操作都包含过滤。

14.根据权利要求1的方法，其中第一单元操作的操作参数是横过第一单元操作的压力差。

15.根据权利要求9的方法，其中第一单元操作和第三单元操作同时起作用。

16.用来处理高纯度材料的系统，其中包括：

第一材料补给线；

与第一材料补给线下游流体连接的第一单元操作；

与第一材料补给线下游流体连接的第二单元操作；

为检测第一单元操作的操作参数而安排的第一感应器；

为检测第二单元操作的操作参数而安排的第二感应器；

与第一单元操作和第二单元操作流体连接的增压气体补给线；

与第一单元操作和第二单元操作流体连接的出口；以及

与第一感应器、第二感应器和出口的通信为产生以来自增压气体补给线的增压气体填充第二单元操作的第一控制信号、使来自第一单元操作的第一材料的流动响应记录门限值的第一感应器经由第二单元操作转移到出口的第二控制信号和在增压气体已从第二单元操作清除之后将第一材料的流动经由第二单元操作引向工具的第三控制信号而配置的控制器。

17.根据权利要求16的系统，其中第一感应器包含压力差感应器。

18.根据权利要求16的系统，其中第一和第二单元操作包含过滤。

19.根据权利要求16的系统，进一步包括与第二单元操作的上游流体连接的第二材料补给线。

20.根据权利要求19的系统，进一步包括与第二材料补给线的下游流体连接的第三单元操作。

21.根据权利要求20的系统，进一步包括为检测第三单元操作的操作参数而安排的第三感应器。

22.根据权利要求20的系统，其中控制器被进一步配置成产生响应记录第二门限值的第三感应器将第二材料的流动从第三单元操作转移到第二单元操作的第四控制信号。

23.根据权利要求16的系统，其中控制器被进一步配置成响应记录第三门限值的第二感应器使第一材料的流动恢复到第一单元操作。

24.根据权利要求16的系统，其中控制器被进一步配置成为维护而隔离第一单元操作。