[发明专利]检漏装置有效
| 申请号： | 200780028313.6 | 申请日： | 2007-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN101495848A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 卢多尔夫·格道;兰道夫·保罗·罗尔夫;诺贝特·罗尔夫;丹尼尔·韦齐希 | 申请（专利权）人： | 因菲康有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张 文;张春水 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检漏 装置 | ||
1.一种检漏装置(10)，具有预真空供给泵(20)、气体检测器(18) 和流量传感器(26)，其特征在于，
所述流量传感器(26)通过由设置在所述供给泵(20)和所述流量 传感器(26)之间的缓冲容积(22)和节流阀(24)组成的低通构造与 所述供给泵(20)隔离。
2.如权利要求1所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述缓冲容 积(22)相对于所述节流阀(24)设置在泵侧。
3.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述流 量传感器(26)设置在供给泵(20)的排出侧。
4.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述缓 冲容积(22)的容量至少是供给泵(20)的抽吸量的三倍。
5.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，由缓冲 容积(22)和节流阀(24)组成的低通构造(21)的临界频率小于供给 泵(20)的冲程频率的一半。
6.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，在节流 阀(24)上的压降小于100毫巴。
7.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，设置有 至少一个由缓冲容积和节流阀组成的另一低通构造。
8.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述供 给泵(20)是容积式泵。
9.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述流 量传感器(26)是微机械流量传感器。
10.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述流 量传感器(26)是热流量传感器。
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