[发明专利]检漏装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种检漏装置，其具有预真空供给泵、气体检测器和流量 传感器。

背景技术

利用又称为泄漏嗅探装置的检漏装置，探测包含测试气体的试样。 当存在气体泄漏时，测试气体从试样中漏出。测试气体通过气体检测器 或气体传感器检测并且报告。预真空供给泵的作用是，连续地输送试样 附近的气体并且将其供给气体检测器。

气体通道中在供给泵前或后具有测定气体流量的流量传感器。一方 面借助流量传感器执行控制功能和监视功能，即监控输送通道是否有可 能堵塞或者供给泵是否无干扰地工作。此外另一方面通过流量传感器测 定流动速率并且在存在测试气体时测定输送气体中的测试气体浓度以 及泄漏率。

实践表明，流量传感器是经常损坏的相对敏感的元件。

发明内容

本发明的目的是，提供一种检漏装置，所述检漏装置的流量传感器 较好地得到保护以免受损坏。

根据本发明，该目的通过如下的一种检漏装置得以实现，该检漏装 置具有预真空供给泵、气体检测器和流量传感器，其特征在于，该流量 传感器通过由设置在供给泵和流量传感器之间的缓冲容积和节流阀组 成的低通与供给泵隔离。

在根据本发明的检漏装置中，在供给泵和流量传感器之间设置气体 缓冲容积和气体节流阀。通过在供给泵和流量传感器之间设置缓冲容积 和节流阀，在通往流量传感器的通道中减轻和消除供给泵的压力冲击。 在启动和关闭供给泵时产生压力冲击，但是在输送时尤其也通过供给泵 产生压力冲击，特别是对于不连续地输送气体的容积式供给泵。

对于较快的压力冲击，流量传感器通过由缓冲容积和节流阀组成的 低通构造与供给泵隔离。因此以简单的和廉价的方式预防流量传感器损 坏的主要原因。

与节流阀相比缓冲容积最好设置在泵侧。换句话说，缓冲容积总是 设置在节流阀和供给泵之间，而与由缓冲容积、节流阀和流量传感器组 成的构造在流动方向上设置在供给泵前或后无关。只是在这种构造下缓 冲容积和节流阀能够相对于供给泵用作低通。

流量传感器最好设置在供给泵的排出侧。按这种方式通过嗅探口从 外部导入到泄漏检测器中的压力冲击也能够远离流量传感器，因为供给 泵以及缓冲容积和节流阀设置在流量传感器和嗅探口之间。

缓冲容积的容量最好至少是供给泵的抽吸量的三倍。在这种情况下 是基于不连续地输送的在运转时产生相应的压力冲击的供给泵。在一种 优选实施形式中，供给泵构成只是不连续地输送的容积式泵。例如膜片 式泵的容积式泵结构简单、结实并且物美价廉，并且因此最适合作为供 给泵应用于检漏装置中。

通过将缓冲容积的大小设计成至少是供给泵的抽吸量的三倍，确保 很大程度地减轻由供给泵产生的压力冲击，使得足够地保护流量传感器 免受在运行中由供给泵产生的压力冲击。

在节流阀上的压降最好小于100毫巴，尤其最好小于70毫巴。按 这种方式通过由缓冲容积和节流阀组成的构造有效地滤除由具有冲程 频率的供给泵产生的压力冲击。供给泵的冲程频率定义为如下频率，在 构成为容积式泵的供给泵中借助该频率与时间相关地输送抽吸量。当传 动轴每转输送唯一的抽吸量或者输送多个的串联的抽吸量时，冲程频率 与供给泵的转动频率相同。但是如果供给泵具有多个的并联的抽吸量， 冲程频率为传动轴的转动频率的相应多倍。

根据一种优选的结构，至少设有另一个由缓冲容积和节流阀组成的 构造。该缓冲容积-节流阀-构造能够直接地相邻于第一缓冲容积-节流阀 -构造设置，但是也能够与第一构造分开设置。通过设置第二缓冲容积- 节流阀-构造，由两个缓冲容积-节流阀-构造组成的总的构造的过滤参数 能够更好的适合要求。在第一缓冲容积-节流阀-构造设置在供给泵和流 量传感器之间时，如果流量传感器设置在嗅探口和供给泵之间，那么第 二缓冲容积-节流阀-构造能够设置在嗅探口和流量传感器之间。按这种 方式在设置这种流量传感器时，在两侧都保护其免予遭受压力冲击。

流量传感器最好是微机械流量传感器。此外流量传感器能够是热流 量传感器。微机械流量传感器相对物美价廉并且精确，尤其是当它作为 热流量传感器构成时。但是微机械热流量传感器对压力冲击非常敏感。 通过应用缓冲容积-节流阀-构造，能够使用微机械热流量传感器，由于 微机械热流量传感器的灵敏性而不会使得泄漏检测器的可靠性变差。

附图说明