[发明专利]带有管中的加热器的负载锁定室

权利要求书

1.一种经加热的负载锁定室，包含：

腔体主体，具有内部体积与至少二个基板存取口；以及

多个灯组件，至少部分地延伸进入所述腔体主体的内部体积中，其中每个灯 组件更包含：

灯；以及

传导管件，具有暴露于所述腔体主体外的大气环境的开口端，所述传导管 件延伸进入所述腔体主体的内部体积中，并提供压力阻障以将所述灯与所述腔体主 体的内部体积隔离开。

2.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中所述传导管件更包含：

封闭端，位于所述腔体主体的内部体积中。

3.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中所述传导管件更包含：

反射材料，用于涂布所述传导管件的上表面。

4.如权利要求3所述的经加热的负载锁定室，其中所述反射材料更包含金。

5.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中所述传导管件由石英所制 成。

6.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中所述传导管件具有选定的 形状，以当所述传导管件被真空处理条件包围且所述传导管件的内部基本上处于大 气压状态时防止所述传导管件塌陷。

7.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中所述灯更包含一碳红外线 灯。

8.如权利要求7所述的经加热的负载锁定室，其中所述灯更包含长U型组件。

9.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中所述灯更包含：

反射材料，用于涂布所述灯的上表面。

10.如权利要求9所述的经加热的负载锁定室，其中所述反射材料更包含金。

11.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中多个灯组件更包含：

第一组灯组件，由所述腔体主体的第一壁延伸；以及

第二组灯组件，由所述腔体主体的第二壁延伸，其中第一与第二组的灯组件 具有平行的中心线。

12.如权利要求11所述的经加热的负载锁定室，其中这些灯组件的中心线并 未定向成垂直于所述第一壁的方向。

13.如权利要求1所述的经加热的负载锁定室，其中多个灯组件更包含：

第一灯组件，由所述腔体主体的第一壁延伸；以及

第二灯组件，由所述腔体主体的第二壁延伸，其中第一与第二灯组件具有共 轴的中心线。

14.如权利要求13所述的经加热的负载锁定室，其中多个灯组件更包含：

第三灯组件，由所述腔体主体的第一壁延伸；以及

第四灯组件，由所述腔体主体的第二壁延伸，其中第三与第四灯组件具有共 轴的中心线，以及其中第一与第二灯组件的末端是与第三与第四灯组件的末端对准 的。

15.如权利要求13所述的经加热的负载锁定室，其中多个灯组件更包含：

第三灯组件，由所述腔体主体的第一壁延伸；以及

第四灯组件，由所述腔体主体的第二壁延伸，其中第三与第四灯组件具有共 轴的中心线，以及其中第一与第三灯组件的末端以不同的距离突出进入所述腔体主 体中。

16.一种经加热的负载锁定室，包含：

腔体主体，具有内部体积以及至少二个基板存取口；

至少一个灯组件，包含：

灯；以及

传导管件，用于将所述灯罩在其中，其中所述传导管件更包含：

开口端，延伸穿过所述腔体主体的侧壁，所述传导管件的开口端被密封 至所述腔体主体的侧壁上，使得所述传导管件的内部向大气打开；以及

封闭端，延伸进入所述腔体主体的内部体积且由其所包围，所述封闭端 被支撑着且与所述腔体主体的顶部间隔开。

17.如权利要求16所述的经加热的负载锁定室，其中所述传导管件的中心线 具有平行于所述腔体主体的底部的方向。