[发明专利]探针板的平行度调整机构

权利要求书

1.一种探针板的平行度调整机构，其具有保持多个探针的探针板和安装有所述探针板的探测器，并调整所述探针板相对于晶片的平行度，所述探针将作为检查对象的所述晶片和生成检查用的信号的电路构造之间电连接，所述探针板的平行度调整机构的特征在于，

所述探针板具有配线基板与安装于该配线基板的一面上的加固构件，

所述探测器具有：支承构件；被支承于该支承构件的框架构件；夹设在该框架构件与所述加固构件之间且联结于该框架构件的对接构件，

所述框架构件设于所述探针板的与收容所述多个探针的一侧相反的一侧，且所述对接构件的底面与所述加固构件的上表面以使所述探针板随着所述对接构件的移动而移动的方式密接，

所述探针板的平行度调整机构还具备倾斜度变更机构，该倾斜度变更机构将所述框架构件的底面作为所述探针板向所述探测器安装的安装基准面，并使所述对接构件相对于所述框架构件移动，而变更所述探针板相对于所述安装基准面的倾斜度。

2.根据权利要求1所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

所述倾斜度变更机构包括至少三根调整螺钉，所述调整螺钉配置在所述安装基准面的圆周上，并安装在所述框架构件上，以在与所述安装基准面正交的方向上进退自如，且前端能够与所述对接构件的表面抵接。

3.根据权利要求2所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

在所述对接构件的与所述调整螺钉的前端抵接的位置设有定心用的凹坑。

4.根据权利要求1所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

所述倾斜度变更机构包括至少三根调整螺钉，所述调整螺钉配置在所述安装基准面的圆周上，并安装在所述对接构件上，以在与所述安装基准面正交的方向上进退自如，且前端能够与所述探针板的表面抵接。

5.根据权利要求4所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

在所述探针板的与所述调整螺钉的前端抵接的位置设有定心用的凹坑。

6.根据权利要求1所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

所述探测器包括探针板架，所述探针板架载置所述探针板的所述探针突出的一侧的表面的一部分，并将该载置面作为所述安装基准面，

所述倾斜度变更机构相对于所述探针板架移动所述探针板。

7.根据权利要求6所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

所述倾斜度变更机构包括至少三根调整螺钉，所述调整螺钉配置在所述安装基准面的圆周上，并从所述探针板架的底面安装，以在与所述安装基准面正交的方向上进退自如，且前端能够与所述加固构件的底面抵接。

8.根据权利要求6所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

所述倾斜度变更机构包括至少三根调整螺钉，所述调整螺钉配置在所述安装基准面的圆周上，并从所述探针板的上表面安装，以在与所述安装基准面正交的方向上进退自如，且能够与所述探针板架的所述载置面抵接，

在所述载置面的与所述调整螺钉的前端抵接的位置设有定心用的凹坑。

9.根据权利要求6所述的探针板的平行度调整机构，其特征在于，

所述倾斜度变更机构包括：

至少三根联结螺钉，其配置在所述安装基准面的圆周上，且从所述加固构件的上表面安装，以在与所述安装基准面正交的方向上进退自如；

多个柱构件，其在所述配线基板的板厚方向贯通埋入，并具有比所述配线基板的板厚大的高度，且能够与所述联结螺钉螺合，

所述多个柱构件包括具有不同高度的柱构件。