[发明专利]用于驱动微机电系统显示器的系统及方法

说明书

技术领域

本发明的领域涉及微机电系统(MEMS)。

背景技术

微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和 或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微 加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使 用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且 /或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者 可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特 定实施例中，一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括通过气隙与固定 层分离的金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干 涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且 /或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的 新产品，将是有益的。

发明内容

本发明的系统、方法和装置每一者均具有若干方面，其中任何单个方面均不仅仅负 责其期望的属性。在不限定本发明范围的情况下，现将简要论述其较突出的特征。考虑 此论述之后，且尤其在阅读标题为“具体实施方式”的部分之后，将了解本发明的特征 如何提供优于其它显示器装置的优点。

在一个实施例中，一种显示器装置包含：MEMS显示器元件阵列；至少一个测试偏 转元件；及连接到测试偏转元件的偏转感测电路，所述偏转感测电路经配置以在不激活 测试偏转元件的情况下监视测试偏转元件的偏转，并基于所述偏转而提供指示影响 MEMS显示器元件阵列的操作的一个或一个以上参数的信号。

在另一实施例中，一种显示器装置包含：MEMS显示器元件阵列；形成于衬底上的 测试偏转元件阵列，每一测试偏转元件并联连接；及连接到测试偏转元件阵列的偏转感 测电路，所述偏转感测电路经配置以监视测试偏转元件阵列的电容，并基于所述电容而 提供指示影响MEMS显示器元件阵列的操作的一个或一个以上参数的信号。

在另一实施例中，一种驱动干涉式调制器阵列的方法包含：将电压施加于一个或一 个以上测试偏转元件上，其中所述电压经选择以使得所述一个或一个以上测试偏转元件 保持为未激活的；测量所述一个或一个以上测试偏转元件的偏转；及至少部分地基于偏 转测量而将驱动信号提供到干涉式调制器阵列。

在另一实施例中，一种驱动干涉式调制器阵列的方法包含：将可变电压施加于一个 或一个以上测试偏转元件上，所述可变电压包含直流(DC)分量；将DC分量的电压调 整到一值，以使得所述一个或一个以上测试偏转元件的偏转与参考值大体上相同，其中 所述一个或一个以上测试偏转元件保持为未激活的；及至少部分地基于所述值而将驱动 信号提供到干涉式调制器阵列。

在另一实施例中，一种显示器装置包含：用于显示图像数据的构件；用于提供指示 影响显示器构件的操作的一个或一个以上参数的信号的构件；及用于基于所述信号而驱 动显示构件的构件。

在另一实施例中，一种计算机可读媒体包含：用于致使电路将电压施加于一个或一 个以上测试偏转元件上的构件，其中所述电压经选择以使得所述一个或一个以上测试偏 转元件保持为未激活的；用于致使电路测量所述一个或一个以上测试偏转元件的偏转的 构件；及用于致使电路至少部分地基于偏转测量而将驱动信号提供到干涉式调制器阵列 的构件。

在另一实施例中，一种计算机可读媒体包含：用于致使电路将可变电压施加于一个 或一个以上测试偏转元件上的构件，所述可变电压包含DC分量；用于致使电路将DC 分量的电压调整到一值以使得所述一个或一个以上测试偏转元件的偏转与参考值大体 上相同的构件，其中所述一个或一个以上测试偏转元件保持为未激活的；及用于致使电 路至少部分地基于所述值而将驱动信号提供到干涉式调制器阵列的构件。

附图说明

图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉 式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于激活 位置.1。

图2是说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的 图。