[发明专利]用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法

权利要求书

1.一种用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法，该方法包括步骤：

(a)在测试盘装载半导体器件后，将水平姿势的测试盘从加载单元经由保温腔室转移到测试腔室，其中在转移时在某点将测试盘的水平姿势改变为垂直姿势；

(b)将步骤(a)中顺序转移到测试腔室的三个测试盘竖直排列到三行上；

(c)将步骤(b)中竖直排列到三行上的三个测试盘转移到测试位置；

(d)在对加载在三个测试盘上的半导体器件测试完成后，将三个测试盘中的每一个从测试腔室经由常温腔室转移到卸载单元，其中在转移时在某点将测试盘的垂直姿势改变为水平姿势；及

(e)将步骤(d)中转移到卸载单元的每个测试盘上的半导体器件卸载后，将所述测试盘转移到加载单元。

2.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(a)包括步骤：

(a1)将测试盘以水平姿势从加载单元转移到保温腔室；

(a2)将步骤(a1)中转移到保温腔室中测试盘的水平姿势改变为垂直姿势；

(a3)将步骤(a2)中获得的垂直姿势的测试盘向下降至预定位置；及

(a4)将步骤(a3)中降至预定位置的测试盘转移到测试腔室。

3.根据权利要求2所述的方法，其中步骤(a4)中，将测试盘转移到测试腔室的中部位置，及在步骤(b)中，将步骤(a4)中顺序转移到测试腔室中的三个测试盘以上部、下部和中部位置的顺序，或以下部、上部和中部位置的顺序进行排列。

4.根据权利要求2所述的方法，其中在步骤(a4)中，将测试盘转移到测试腔室的下部位置，及在步骤(b)中，将在步骤(a4)中顺序转移到测试腔室中的三个测试盘以上部、中部和下部位置的顺序排列。

5.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(a)包括步骤：

(a1)将水平姿势的测试盘从加载单元转移到保温腔室，及将顺序转移到保温腔室的测试盘排列到两竖直行上，其中在转移和排列时，将测试盘在某点从水平姿势改变为垂直姿势；及

(a2)将步骤(a1)中排列到两个竖直行上的测试盘转移到测试腔室。

6.根据权利要求5所述的方法，其中在步骤(a2)中，将测试盘转移到测试腔室的中部位置和下部位置，

及在步骤(b)中，在三个测试盘中，将顺序转移到测试腔室中部位置的两个测试盘以上部、中部位置的顺序进行排列，另一个转移到测试腔室下部位置的测试盘排列到下部位置。

7.根据权利要求5所述的方法，其中在步骤(a2)中，将测试盘转移到测试腔室的上部位置和下部位置，及

在步骤(b)中，在三个测试盘中，转移到测试腔室上部位置的一个测试盘排列到上部位置，另两个顺序转移到测试腔室下部位置的测试盘以中部、下部位置的顺序进行排列。

8.根据权利要求5所述的方法，其中在步骤(a2)中，将测试盘转移到测试腔室的上部位置和下部位置，及

在步骤(b)中，在三个测试盘中，顺序转移到测试腔室上部位置的两个测试盘以中部、上部位置的顺序进行排列，另一个转移到测试腔室下部位置的测试盘排列到下部位置。

9.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(a)包括步骤：

(a1)将水平姿势的测试盘从加载单元转移到保温腔室；

(a2)将步骤(a1)中转移到保温腔室的测试盘移动下调至预定位置；及

(a3)将测试盘由水平姿势改变为垂直姿势，并将垂直姿势的测试盘转移到测试腔室。

10.根据权利要求9所述的方法，其中在步骤(a3)中，将测试盘转移到测试腔室中部位置，及

在步骤(b)中，将在步骤(a3)中顺序转移到测试腔室中的三个测试盘以上部、下部和中部位置的顺序，或以下部、上部和中部位置的顺序进行排列。

11.根据权利要求9所述的方法，其中在步骤(a3)中，将测试盘转移到测试腔室下部位置，及

在步骤(b)中，将在步骤(a3)中顺序转移到测试腔室中的三个测试盘以上部、中部和下部位置的顺序进行排列。