[发明专利]用于制造丝网印刷模版的曝光装置

权利要求书

1.一种用于制造丝网印刷模版(5)的曝光装置，所述曝光装置具有：用于所述丝网印刷模版(5)的支架(4)；曝光系统，所述曝光系统具有至少一个产生光线的光源和在曝光头(9)中的镜组；此外还具有输出数字信号的信号源，所述信号源与所述曝光系统以这样一种方式连接，即整个所述丝网印刷模版(5)可以对应于这些信号曝光，其中所述曝光头(9)相对于所述丝网印刷模版(5)是可运动的，其特征在于，所述光源具有数量为n的、在300-450nm波长范围中工作的同类型的激光二极管，所述激光二极管可由所述信号源的这些信号控制，所述激光二极管的光信号通过数量同样为n的光导纤维引导至在所述曝光头(9)中的光栅板，以及所述光栅板的光输出被导向至在所述波长范围方面适合于或者是能适合于所述激光二极管的、在所述曝光头(9)中的聚焦镜组(10)，其中所述光导纤维在连接到所述激光二极管的接口处和/或连接到所述光栅板的接口处设计为可插入的。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光装置既可以用于平的丝网印刷模版制造又可以用于圆柱形的丝网印刷模版制造。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，使用直接调制的激光二极管。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述激光二极管在被脉动的、大于30mW的能量范围中工作，以能够使所有商业上通用的模版材料成像。

5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述激光二极管在被脉动的、大于等于200mW的能量范围中工作，以能够使所有商业上通用的模版材料成像。

6.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述激光二极管优选地在405nm的蓝光范围中工作。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光系统在数量为n的、所应用的所述激光二极管方面是可扩展的。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述激光二极管和所述光导纤维设置为可以插入在接口部件(11)中的散热模块(12)中。

9.根据权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，具有所述模块(12)的所述接口部件(11)以这样一种方式设置，即所述接口部件不随着所述曝光头(9)一起运动或仅仅在一个对于曝光模版材料来说是必需的运动方向上随着所述曝光头一起运动，以将对于曝光过程来说需要运动的质量尽可能地保持在最小。

10.根据权利要求9所述的曝光装置，其特征在于，具有所述模块(12)的所述接口部件(11)设置在构建为门架结构的曝光单元的门架臂(6)上。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述光栅板是纤维阵列，所述纤维阵列容纳所述光导纤维并且在矩形的或梯形的光栅布置中使所述光导纤维平行于所述聚焦镜组(10)的光轴。

12.根据权利要求11所述的曝光装置，其特征在于，在所述光栅布置中的所述光栅板提供了数量为n的、平行于所述聚焦镜组(10)的光轴的、所述激光二极管的多条光线，其中各条光线的光线直径基本上对应于所述光导纤维的直径并且所述聚焦镜组(10)在需要成像的模版材料上提供了所述光栅布置的缩小的或放大的影像。

13.根据权利要求12所述的曝光装置，其特征在于，所述聚焦镜组(10)具有自动聚焦设备。