[发明专利]可固化的有机基聚硅氧烷组合物和半导体器件有效
申请号: | 200780031649.8 | 申请日: | 2007-07-24 |
公开(公告)号: | CN101506309A | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 加藤智子;森田好次;山本真一;猿山俊夫 | 申请(专利权)人: | 陶氏康宁东丽株式会社 |
主分类号: | C08L83/04 | 分类号: | C08L83/04;C09J183/04;H01L23/29 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 张 钦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固化 有机 基聚硅氧烷 组合 半导体器件 | ||
1.可固化的有机基聚硅氧烷组合物,其至少包含以下组分:
(A)选自以下第(i)到(iii)项的组分:
(i)由以下通式表示的质均分子量为至少3,000的直链二有机基 聚硅氧烷(A1):R12R2SiO(R12SiO)m(R1R2SiO)nSiR12R2,
其中R1是不含脂族不饱和键的取代或未取代的一价烃基,在一个分 子内至少一个R1是芳基,R2是烯基,“m”是正整数,且“n”是正整数;
(ii)上述组分(A1)和由以下通式表示的质均分子量低于3,000的直 链二有机基聚硅氧烷(A2)的混合物:
R12R2SiO(R12SiO)m′(R1R2SiO)n′SiR12R2
其中R1的定义如上所述,在一个分子内至少一个R1是芳基,R2的定 义如上所述,“m′”是正整数,且“n′”是正整数;和
(iii)上述组分(A1)和由以下通式表示的直链二有机基聚硅氧烷(A3) 的混合物:
R12R2SiO(R12SiO)m″SiR12R2
其中R1的定义如上所述,在一个分子内至少一个R1是芳基,R2的定 义如上所述,且“m″”是正整数;
(B)由以下的平均单元式表示的支化有机基聚硅氧烷:
(R3SiO3/2)a (R32SiO2/2)b (R33SiO1/2)c (SiO4/2)d (XO1/2)e
其中R3是取代或未取代的一价烃基,在一个分子内至少一个R3是 烯基且至少一个R3是芳基,X是氢原子或烷基,“a”是正数,“b”是 0或正数,“c”是0或正数,“d”是0或正数,“e”是0或正数,“b/a” 是0-10之间的数,“c/a”是0-5.0之间的数,“d/(a+b+c+d)”是0-0.3 之间的数,且“e/(a+b+c+d)”是0-0.4之间的数,其量为使得组分(B) 与组分(A)的质量比为1/99到99/1;
(C)在一个分子内具有平均至少2个与硅键合的芳基和平均至少2 个与硅键合的氢原子的有机基聚硅氧烷,其量为使得在该组分中与硅键 合的氢原子的量相对于组分(A)和组分(B)中的1摩尔的总烯基为0.1- 10mol;和
(D)催化量的氢化硅烷化反应催化剂,
其中组分(A1)是在一个分子内相对于R1和R2的总和具有至少30摩 尔%芳基的直链二有机基聚硅氧烷;
组分(A2)是在一个分子内相对于R1和R2的总和具有至少30摩尔% 芳基的直链二有机基聚硅氧烷;
组分(A3)是在一个分子内相对于R1和R2的总和具有至少30摩尔% 芳基的直链二有机基聚硅氧烷;
组分(B)是在一个分子内相对于R3的总和具有至少25摩尔%芳基的 支化有机基聚硅氧烷;
组分(C)是在一个分子内相对于所有的与硅键合的有机基团具有至 少10摩尔%芳基的有机基聚硅氧烷。
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