[发明专利]制备涂覆有氧化锌的制品的低温方法

说明书

背景技术

本发明涉及将氧化锌涂层沉积到透明基材上的方法。更具体地讲， 其涉及将氧化锌涂层沉积到透明基材上的化学气相沉积法，其中涂层经 改性以产生具有理想性能组合的氧化锌涂层。

科学文献中已报导了氧化锌涂层通过CVD的生长。例如，Smith， Frank T.J.在Applied Physics Letters，43卷第12期(1983年)1108-1110页 发表的“Metalorganic chemical vapor deposition of oriented ZnO films over large areas”描述了在与商业上用于SiO₂沉积的体系类似的体系中 用于制备c轴取向ZnO膜的金属有机化学气相沉积法。所得膜被描述为 厚度非常均匀以及粘附到多种基材。

Gerfin和Dahmen在CVD of Nonmetals(W.S.Rees，Jr.编辑，VCH 出版公司，纽约，1996年)第3章180-185页中描述了一些研究员的与 使用多种化学制备技术形成氧化锌膜有关的工作。讨论了二烷基锌化合 物和各种含氧化合物的用途。

专利文献中还描述了氧化锌膜的沉积。

Vijaykumar，P.等人的美国专利No.4,751,149描述了利用惰性气体 中携带的有机锌化合物和水，用于氧化锌膜的低温(200℃或更低)低 压(2托或更低)静态沉积法。所得氧化锌膜被描述为具有可通过添加 13族元素而改变的低电阻率。

Gordon，R.等人的美国专利No.4,990,286描述了从锌、氧和含氟化 合物的蒸气混合物通过化学气相沉积法沉积掺氟的氧化锌膜。制备的膜 被描述成是高度导电的、对于可见光透明的、反射红外线辐射并且吸收 紫外光。温敏基材被描述为适于该发明的方法。

美国专利5,306,522描述了涂覆基材的方法，尤其是包括屏蔽表面 的基材，所述表面用含氧化锌的涂层涂覆。所述方法包括使基材的元件 与氧化锌前体接触，优选在使涂层均衡的条件下保持涂覆有前体的基 材，然后氧化前体以形成含氧化锌的涂层。还描述了通过该方法涂覆的 基材用于各种应用。

美国专利5,407,743，其涉及上述美国专利No.5,306,522，包括特别 有关由上述方法制备的涂覆有氧化锌的制品的附加说明。

Giolando，D.的美国专利No.6,416,814描述了锡、钛和锌的配位化 合物在通过和加热的基材接触而制备高质量金属氧化物涂层的方法中 作为金属氧化物前体化合物的用途。

越来越需要耐用的、带涂层的透明基材材料。期望具有如下涂覆有 氧化锌的透明基材材料：其显示出高可见光透过率、低发射率性能和/ 或阳光控制性能、高导电率/低薄层电阻(sheet resistance)，并且可成 本有效地制造。

附图说明

本发明的各种其他目的、特征和伴随的优点将被更完全地赏识，因 为当结合附图考虑时，从以下的详细说明会对其更好的了解。

所示图为根据本发明的实施例21中利用的动态涂布机喷嘴的示意 图。

发明内容

本发明涉及制备涂覆有氧化锌的透明产物的大气压化学气相沉积 法(atmospheric chemical vapor deposition method)，包括加热至温度＜400 ℃的透明基材材料，将一股或多股包含含锌化合物的气态反应物的物流 和包含一种或多种含氧化合物的气态反应物物流引导到加热基材的表 面上以将氧化锌涂层沉积到其上。任选地，氧化锌涂层可通过将掺杂材 料添加到所述一股或多股气态反应物物流中而导电。

本发明的具体实施方式

本发明为在玻璃转化点Tg(软化点)小于400℃的透明基材材料上 以商业上可行的生长速率制备热解氧化锌涂层的符合成本效益的方法。 本发明克服了先前在多种可能的透明基材材料上制备这种掺杂氧化锌 膜的障碍，氧化锌膜在小于400℃、优选80℃-400℃的基材温度被沉积。