[发明专利]基板运送装置以及基板运送方法

权利要求书

1.一种基板运送装置，具有：

主输送器，单张运送基板；

分支输送器，从上述主输送器水平地分支；

基板交接部，把持上述基板的外缘，并通过沿着包含上述运送时的基 板的水平面的转动动作，使上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于 行进方向的朝向，一边变更基板的朝向以成为与基板的行进方向相同的朝 向，一边将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分 支输送器交接至上述主输送器。

2.如权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，上述基板交接 部具有：

顶部，把持上述基板的外缘；

驱动部，以既定的旋转轴为中心使该顶部水平地转动；

臂部，一端与上述顶部连接且另一端部与上述驱动部连接。

3.如权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，具有在由上述 基板交接部进行的上述基板的交接期间从下方支承上述基板的支承部。

4.如权利要求3所述的基板运送装置，其特征在于，上述支承部使 用压缩空气使上述基板浮起而支承上述基板。

5.一种基板运送方法，

借助主输送器单张运送基板，

基板交接部把持上述基板的外缘，

通过上述基板交接部的沿着包含上述运送时的基板的水平面的转动 动作，使上述主输送器上的上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于 行进方向的朝向，一边变更基板的朝向以成为与基板的行进方向相同的朝 向，一边将上述基板从上述主输送器交接到水平地分支的分支输送器上。

6.一种基板运送方法，

借助从主输送器水平地分支的分支输送器运送基板，

基板交接部把持上述基板的外缘，

通过上述基板交接部的沿着包含上述运送时的基板的水平面的转动 动作，使上述分支输送器上的上述基板水平地转动以维持上述基板的相对 于行进方向的朝向，一边变更基板的朝向以成为与基板的行进方向相同的 朝向，一边将上述基板交接到上述主输送器上。