[发明专利]基板运送装置以及基板运送方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于单张运送例如半导体晶片及平板显示器用玻璃 板等的基板的基板运送装置以及基板运送方法。

本发明对于2006年9月11日提出申请的特愿2006-245829号主张优 先权，并在此引用其内容。

背景技术

在设置在制造半导体装置的工厂及制造液晶装置、PDP、EL装置等的 平板显示器的工厂等的基板运送装置中，运送半导体晶片及玻璃板等的基 板且使用装载器及机械手臂等在薄膜形成装置、蚀刻装置、试验装置等的 各种处理装置和运送经路之间进行基板的交接。在这样的基板运送装置 中，基板一般是在收纳在能够收纳多张基板的盒中的状态下进行运送的 (参照专利文献1)。

近年随着液晶电视等的平板显示器的大画面化而将基板大型化。因 此，收纳基板的盒等也大型化/重量化，使运送速度降低，所以例如导致 制品库存的增大等，难以进行高效率地运送。

因此，高速地一张张地运送基板的单张运送受到关注(参照专利文献 1)。

专利文献1：特开平9-58844号公报

但是，在单张运送基板时，与借助盒运送时相比增加了运送的个体数。 因此，为了实现和以往相同或比以往向上的处理速度而必须更高速地运送 基板。

特别是在主输送器和与该主输送器水平地分支的分支输送器之间的 基板的交接速度，在使基板的高速运送实现时变得非常重要。因此，使主 输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升的技术受到期待。

此外，在单张运送玻璃板的基板运送装置中，在主输送器和分支输送 器之间，有时需要不使相对于行进方向的朝向发生变化地交接基板。

在将基板收纳至盒中而进行运送的以往的基板运送装置中，例如，在 不使相对于行进方向的朝向发生变化地将基板从主输送器交接到分支输 送器时，暂时停止在主输送器上运送的盒的运送，在使盒转动后将其交接 至分支输送器。

但是，在单张运送基板的基板运送装置中，若利用同样的方法进行基 板的交接，则需要进行停止基板的运送的工序和将停止的基板交接至分支 输送器的工序，所以在主输送器和分支输送器之间的基板的交接需要花费 时间。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题点而提出的，目的在于在主输送器和分支输 送器之间不使基板的行进方向发生变化地交接基板时，使主输送器和分支 输送器之间的基板的交接速度提升。

为了达成上述目的，本发明的基板运送装置具有：主输送器，单张运 送基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；基板交接部，使上述 基板水平地转动以维持(不发生变化)上述基板的相对于行进方向的朝向， 同时将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分支 输送器交接至上述主输送器。

根据该基板运送装置，从上述主输送器到上述分支输送器或者从上述 分支输送器到上述主输送器的基板的交接时，借助基板交接部，使基板水 平地转动以维持(不发生变化)基板的相对于行进方向的朝向，同时进行 基板的交接。

此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：上述基板交 接部具有：顶部，把持上述基板的外缘；驱动部，以既定的旋转轴为中心 使该顶部水平地转动；臂部，一端与上述顶部连接且另一端部与上述驱动 部连接。

此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：具有在由上 述基板交接部进行的上述基板的交接期间从下方支承上述基板的支承部。

此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：上述支承部 使用压缩空气使上述基板浮起且支承基板。

接着，本发明的基板运送方法为，借助主输送器单张运送基板，使上 述主输送器上的上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向 的朝向，同时将其从上述主输送器给出到水平地分支的分支输送器上。

根据该基板运送方法，使基板水平地转动以维持基板的相对于行进方 向的朝向，同时将其从主输送器交接至分支输送器上。

接着，本发明的基板运送方法为，借助从主输送器水平地分支的分支 输送器运送基板，使上述分支输送器上的上述基板水平地转动以维持上述 基板的相对于行进方向的朝向，同时将其交接到主输送器上。

根据该基板运送方法，水平地转动基板以使基板的相对于行进方向的 朝向不变化，同时将其从分支输送器交接至主输送器上。