[发明专利]用于生成改进的衍射略图的系统和方法有效

专利信息
申请号: 200780033596.3 申请日: 2007-07-03
公开(公告)号: CN101512385A 公开(公告)日: 2009-08-19
发明(设计)人: 杰弗里·哈丁 申请(专利权)人: 通用电气公司
主分类号: G01V5/00 分类号: G01V5/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 封新琴
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 生成 改进 衍射 略图 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种用于生成对象的衍射略图的系统,所述系统包括:

机架,包括第一散射检测器;

至少一个x射线源,配置为生成x射线;以及

主准直仪,配置为将生成的x射线准直为第一x射线束和第二x射线束, 该第一x射线束导向对象空间内的第一焦点,该第二x射线束导向该对象空 间内的第二焦点,

其中所述第一散射检测器配置为:

在所述第一散射检测器上的第一点处检测在所述第一x射线束和所 述对象相交时生成的第一组散射射线;以及

在所述第一散射检测器上的该第一点处检测在所述第二x射线束和 所述对象相交时生成的第二组散射射线。

2.如权利要求1所述的系统,其中所述机架还包括与所述第一散射检测 器被间隙分开的第二散射检测器,所述第二散射检测器配置为:

检测在所述第一x射线束和所述对象相交时生成的第三组散射射线;并 且

检测在所述第二x射线束和所述对象相交时生成的第四组散射射线,在 所述第二散射检测器上的第二点处检测所述第三组散射射线和第四组散射射 线。

3.如权利要求2所述的系统,其中由所述第一散射检测器检测的第一组 散射射线的散射角等于由所述第二散射检测器检测的第三组散射射线的散射 角。

4.如权利要求1所述的系统,其中由所述第一散射检测器检测的第一组 散射射线的散射角最多是由所述第一散射检测器检测的第二组散射射线的散 射角的一半。

5.如权利要求2所述的系统,还包括:

第三散射检测器,配置为检测在所述第一x射线束和所述对象相交时生 成的第五组散射射线;以及

第四散射检测器,配置为检测在所述第二x射线束和所述对象相交时生 成的第六组散射射线。

6.如权利要求1所述的系统,还包括:

透射检测器,配置为检测所述第一x射线束和所述第二x射线束。

7.如权利要求5所述的系统,还包括:

透射检测器,配置为检测所述第一x射线束和所述第二x射线束;以及

机架,其中所述透射检测器、所述第一散射检测器、所述第二散射检测 器、所述第三散射检测器和所述第四散射检测器位于所述机架内。

8.一种用于生成对象的衍射略图的系统,所述系统包括:

至少一个x射线源,配置为生成x射线;

主准直仪,配置为将生成的x射线准直为第一x射线束和第二x射线束, 该第一x射线束导向对象空间内的第一焦点,该第二x射线束导向该对象空 间内的第二焦点;

第一散射检测器,位于机架内并配置为:

在所述第一散射检测器上的第一点处检测在所述第一x射线束和所 述对象相交时生成的第一组散射射线;以及

在所述第一散射检测器上的该第一点处检测在所述第二x射线束和 所述对象相交时生成的第二组散射射线;以及

处理器,耦合到所述第一散射检测器,并且配置为从由所述第一散射检 测器检测的第一组散射射线和第二组散射射线中生成所述对象的一部分衍射 略图。

9.如权利要求8所述的系统,还包括位于所述机架内并与第一散射检测 器被间隙分开的第二散射检测器,所述第二散射检测器配置为:

检测在所述第一x射线束和所述对象相交时生成的第三组散射射线;以 及

检测在所述第二x射线束和所述对象相交时生成的第四组散射射线,在 所述第二散射检测器上的第二点处检测所述第三组散射射线和第四组散射射 线。

10.如权利要求9所述的系统,其中由所述第一散射检测器检测的第一 组散射射线的散射角等于由所述第二散射检测器检测的第三组散射射线的散 射角。

11.如权利要求9所述的系统,还包括:

第三散射检测器,配置为检测在所述第一x射线束和所述对象相交时生 成的第五组散射射线;以及

第四散射检测器,配置为检测在所述第二x射线束和所述对象相交时生 成的第六组散射射线。

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