[发明专利]使用公知的方法创建制法的方法和装置

权利要求书

1.一种促进至少一个处理系统中处理至少一个基片的至少一个制法的创建的方法，该方法包含：

提供制法编辑器，所述制法编辑器结合多种最佳公知方法(BKMs)，所述BKMs是用于该制法的方法规范；

基于所述用于该制法的BKMs创建多个BKM模块，其中所述多个BKM模块中的每个BKM模块相关于处理所述基片的一个处理阶段并包括所述制法的多个制法步骤；

定义所述多个BKM模块中参数的规则；

使用所述制法编辑器，将由用户传播的参数值转换为升级的规则，所述由用户传播的参数值由第一用户在所述处理系统和所述多个BMK模块的至少一个中传播；

使用所述升级的规则产生至少一个升级的BKM模块；以及

至少向第二用户使用的第二处理系统提供所述升级的BKM模块。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述升级的BKM模块为所述制法指明除了所述参数之外的附加参数。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述升级的BKM模块包括针对一个或多个所述参数的一个或多个升级的允许值范围。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述规则定义所述参数的允许值。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述规则定义所述参数之间的依赖关系。

6.根据权利要求4所述的方法，其中所述规则由所述BKM自动升级。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述制法编辑器包括用于所述处理系统的推荐配置设定。

8.根据权利要求1所述的方法，其中在执行所述制法之前，所述制法编辑器请求所述处理系统的实际配置设定，其中执行所述实际配置设定与所述制法之间的比较。

9.根据权利要求8所述的方法，其中当所述实际配置设定与所述制法的比较指出不兼容时，所述制法编辑器发出警告。

10.一种促进至少一个处理系统中处理至少一个基片的至少一个制法的创建的系统，该系统包含：

计算器件；

在所述计算器件中实现的制法编辑器，所述制法编辑器结合多种最佳公知方法(BKMs)，所述BKMs是用于该制法的方法规范；

多个基于所述用于该制法的BKMs的BKM模块，其中所述多个BKM模块中的每一个BKM模块相关于处理所述基片的一个处理阶段并包括所述制法的多个制法步骤；以及

在所述多个BKM模块中定义参数的规则；

其中所述制法编辑器被配置为将由用户传播的参数值转换为升级的规则，所述由用户传播的参数值由第一用户在所述处理系统和所述多个BKM模块中的至少一个中传播；

所述计算器件被配置为使用所述升级的规则产生至少一个升级的BKM模块；以及

所述计算器件被进一步配置为至少向第二用户使用的第二处理系统提供所述升级的BKM模块。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述升级的BKM模块为所述制法指明除了所述参数之外的附加参数。

12.根据权利要求10所述的系统，其中所述升级的BKM模块包括针对一个或多个所述参数的一个或多个升级的允许值范围。

13.根据权利要求10所述的系统，其中所述规则定义所述参数的允许值。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述规则定义所述参数之间的依赖关系。

15.根据权利要求13所述的系统，其中所述规则由所述BKMs自动升级。

16.根据权利要求10所述的系统，其中所述制法编辑器包括用于所述处理系统的推荐配置设定。

17.根据权利要求10所述的系统，其中在接收针对所述参数的数值输入后，所述制法编辑器创建BKM驱动制法。

18.根据权利要求17所述的系统，其中在执行所述BKM驱动制法之前，所述制法编辑器请求所述处理系统的实际配置设定，其中执行所述实际配置设定与所述BKM驱动制法之间的比较。

19.根据权利要求18所述的系统，其中当所述实际配置设定与所述BKM驱动制法的比较指明不兼容时，所述制法编辑器发出警告。