[发明专利]薄光条和制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及微机电系统(microelectromechanical system，MEMS)。

背景技术

微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例中，一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括通过气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品，将是有益的。

发明内容

在一个实施例中，一种显示器装置包括：光条(light bar)，其具有两个或两个以上不同层且沿着其长度导向光；转向微结构，其安置在所述光条的顶部和底部中的至少一者上，所述转向微结构经配置以引导所述光离开所述光条的一侧；光导面板(light guidepanel)，其相对于所述光条的所述侧安置以使得来自所述光条的所述光耦合到所述光导面板，所述光导面板经配置以引导耦合在其中的所述光离开所述光导面板；以及多个光调制器，其相对于所述光导面板而安置以接收被引导离开所述光导面板的所述光。

在一个实施例中，一种显示器装置包括：用于沿着其长度导向光的第一构件；用于转向所述第一导光构件中所导向的所述光并引导所述光离开所述第一导光构件的一侧的构件，所述光转向构件安置在所述第一导光构件的顶部和底部中的至少一者上；相对于所述第一导光构件的所述侧而安置以使得来自所述第一导光构件的所述光耦合在其中的用于导向所述光的第二构件，所述第二导光构件经配置以引导耦合在其中的所述光离开所述第二导光构件；以及相对于所述第二导光构件而安置以接收被引导离开所述第二导光构件的所述光的用于调制所述光的构件。

在一个实施例中，一种制造显示器装置的方法包括：提供沿着其长度导向光的光条，所述光条具有安置在其顶部或底部上的转向微结构，所述转向微结构经配置以引导所述光离开所述光条的一侧；相对于所述光条的所述侧安置光导面板以使得来自所述光条的所述光耦合到所述光导面板，所述光导面板经配置以引导耦合在其中的所述光离开所述光导面板；以及相对于所述光导面板安置多个光调制器以接收被引导离开所述光导面板的所述光。

在一个实施例中，一种光条具有与显示器装置光学连通的前表面，且所述光条经配置以沿着其长度导向光，其中所述光条包括上面具有多个刻面特征的第一膜层、上面具有多个刻面特征的第二膜层，和定位在第一与第二膜层之间并将第一与第二膜层耦合的光学耦合层，所述光学耦合层经配置以传播光，其中第一和第二膜层上的刻面特征经配置以引导光离开光条的前表面而朝向显示器装置。

在一个实施例中，一种制造用于将光传递到显示器装置的光条材料的方法包括：在第一膜层上压印第一多个刻面特征；在第二膜层上压印第二多个刻面特征；将第一与第二膜层耦合以形成复合膜，其中第一和第二膜层上的刻面特征经配置以引导光离开光条材料。

在一个实施例中，一种照明设备包括：光条，其具有两个或两个以上不同层且沿着其长度导向光；以及转向微结构，其安置在所述光条的顶部和底部中的至少一者上，所述转向微结构经配置以引导所述光离开所述光条的一侧。

附图说明

图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于激活位置。

图2是说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的图。

图4是可用于驱动干涉式调制器显示器的一组行和列电压的说明。

图5A和5B说明可用于将显示数据帧写入到图2的3×3干涉式调制器显示器的行和列信号的一个示范性时序图。

图6A和6B是说明包括多个干涉式调制器的视觉显示器装置的实施例的系统框图。

图7A是图1的装置的横截面。