[发明专利]固定夹具及芯片的拾取方法以及拾取装置

权利要求书

1.一种固定夹具，由夹具基座和紧贴层构成，其特征在于，

在所述夹具基座的一个面上设置有凹部，该凹部被与侧壁大致相同高度的间壁划分为小房间，在所述侧壁及所述间壁的上缘设置有紧贴层以覆盖所述凹部，在所述各小房间内形成有分别与外部连通的贯穿孔。

2.一种拾取芯片的方法，用于拾取固定在权利要求1所述的固定夹具上的芯片，其特征在于，通过如下工序拾取芯片：

使晶片形状的芯片组形成为固定在紧贴层上的状态的芯片固定工序；

通过所述固定夹具的小房间内的贯穿孔来吸引相应小房间内的空气，使覆盖该小房间的所述紧贴层变形的紧贴层变形工序；以及

吸附夹头对所述小房间被吸引且所述紧贴层变形的部位处的所述芯片进行吸引，将该被吸引的芯片从所述紧贴层完全拾取的工序。

3.一种拾取装置，利用于权利要求2中所述的芯片的拾取方法中，其特征在于，具有：

配置于在夹具基座的厚度方向上形成的贯穿孔的一个开口部侧的吸引单元；

配置于所述贯穿孔的另一开口部侧的吸附夹头；以及

装拆自如地固定夹具基座的外周的环形的工作台，

通过所述吸引单元对装拆自如地被所述环形的工作台支承的夹具基座的任意的小房间内进行吸引，用所述吸附夹头来吸引芯片。