[发明专利]生产三氯硅烷的方法有效
| 申请号： | 200780039590.7 | 申请日： | 2007-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101528598A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | B·普夫卢格勒;R·林 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产 硅烷 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种生产三氯硅烷的方法，其中含四氯硅烷的进料气体与含氢的进 料气体在900-1300℃的温度下反应形成含三氯硅烷产物混合物，其特征在 于，所述反应是在这些进料气体的14-24bar的超临界压力下进行的。
2.权利要求1所述的方法，其特征在于，四氯硅烷和氢的摩尔比为 1∶1-1∶100。
3.权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述进料气体在反应区 中停留200-0.05秒。
4.权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法是在超临界范围中 的进料流系统压力和在亚临界范围中的产物流系统压力下进行的。
5.权利要求4所述的方法，其特征在于，所述在亚临界范围中的产物 流系统压力通过在反应区后的降压来达到。
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