[发明专利]基板收纳容器有效
申请号: | 200780041408.1 | 申请日: | 2007-10-26 |
公开(公告)号: | CN101536174A | 公开(公告)日: | 2009-09-16 |
发明(设计)人: | 三村博 | 申请(专利权)人: | 信越聚合物株式会社 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B65D85/86 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 收纳 容器 | ||
1.一种基板收纳容器,在能够整列收纳多张基板的容器本体和其盖体 之间,夹有保持基板的保持件,其特征在于,
保持件包含:可挠性的多个弹性片,从盖体的内侧向收纳于容器本体中 的基板方向延伸、沿多张基板的整列方向排列;以及保持槽片,形成在弹性 片上,接触保持基板的周缘部,使这些弹性片和保持槽片随着从盖体的内侧 向着基板方向而渐渐弯曲而朝向基板的宽度方向外侧,使对于基板周缘部的 保持槽片的接触保持区域减少,
保持槽片具备:一体形成在弹性片的顶端部的导向槽部,以及在该导向 槽部的中央凹陷地形成的最深槽部,
保持件包含形成在弹性片和保持槽片的至少任一方上的干涉避免面,借 助该干涉避免面,能够避免相邻接的多个弹性片及/或保持槽片彼此的干涉。
2.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,将容器本体形成 为上部开口的箱形,在其内部拆装自如地嵌入至少上部开口的盒,在该盒的 两侧壁内表面上分别并排地形成基板用的整列支承槽。
3.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,具备与基板的周 缘部相对置的一对弹性片,将该一对弹性片沿多张基板的整列方向配列,使 各弹性片从盖体的内表面突出,在其顶端部形成保持槽片,使这些弹性片和 保持槽片弯曲成半圆弧形而朝向基板的宽度方向外侧。
4.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,在弹性片的与相 邻接的其他弹性片相对置的两对置面中,在一方的对置面上形成凹部,在另 一方的对置面上形成凸部,使这些凹部和凸部的至少一部分倾斜而作为干涉 避免面,使用凹部和凸部将相邻接的多个弹性片位置对合。
5.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,在保持槽片的与 相邻接的其他保持槽片相对置的两对置面中,在一方的对置面上形成凹部, 在另一方的对置面上形成凸部,使这些凹部和凸部的至少一部分倾斜而作为 干涉避免面,使用凹部和凸部将相邻接的多个保持槽片位置对合。
6.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,使干涉避免面以 110°~175°的钝角倾斜。
7.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,将容器本体形成 为正面开口的箱形,在其两侧壁的内表面上,分别并排形成基板用的整列支 承槽,
具备与基板的周缘部相对置的一对弹性片,将该一对弹性片沿多张基板 的整列方向配列并安装在安装板上,且将该安装板设置在盖体的内表面上, 在各弹性片的顶端部形成保持槽片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造