[发明专利]基板收纳容器

说明书

技术领域

本发明涉及一种收纳半导体晶片或掩模玻璃并进行加工、搬运、输送等 的基板收纳容器。

背景技术

如图14中部分地示出，收纳薄的、圆形半导体晶片W等的以往的基板 收纳容器构成为，具备：容器本体，整列收纳垂直地立起的多张半导体晶片 W；以及盖体20，拆装自如地嵌合在该容器本体的开口的上部二覆盖保护多 张半导体晶片W的上部，在该盖体20的顶板内表面设置有保持各半导体晶 片W的保持件30A，该保持件30A有效地保持脆弱的半导体晶片W以免其污 染或损伤等(专参照利文献1、2、3、4)。

如图14所示，保持件30A具备从盖体20的内表面向收纳于容器本体中 的半导体晶片W的周缘部上端方向直线地水平伸长、沿多张半导体晶片W的 整列方向排列的可挠性的多个弹性保持片38，使半导体晶片W的周缘部接触 保持在各弹性保持片38的顶端部的凹陷的保持槽39中，在基板收纳容器的 搬运时或输送时防止半导体晶片W的晃荡或滑动，这些38、39具有抑制随 着晃荡或滑动而产生颗粒而有助于清洁化的功能。

这样的保持件30A随着盖体20嵌合并被按压在容器本体的开口的上部， 弹性保持片38与各半导体晶片W的周缘部上部接触而逐渐地向上方挠曲， 并在使保持力作用在各半导体晶片W上的状态下保持。此时，弹性保持片38 在与半导体晶片W的周缘部上端开始接触时，保持槽39的顶端部39a部分 地接触，随着向上方挠曲保持槽39的整个区域39b接触，接触结束时保持 槽39的根部侧的末端部39c接触。

专利文献1：日本特公平7-66939号公报

专利文献2：日本特开2005-5396号公报

专利文献3：日本特开2000-281171号公报

专利文献4：日本特开2003-258079号公报

以往的基板收纳容器，在如上所述地弹性保持片38与上述半导体晶片 W的周缘部上端开始接触时，弹性保持片38的保持槽39的顶端部39a接触， 随着向上方挠曲保持槽39的整个区域39b接触，接触结束时保持槽39的根 部侧的末端部39c接触，因此，从保持槽39的顶端部39a至末端部39c的 整个区域39b在半导体晶片W的周缘部上相对地移动并接触，大量地摩擦。 由此，具有在每次设置盖体20时导致半导体晶片W的污染的问题。

并且，以往的基板收纳容器中，在盖体20的顶板上单配列有多个弹性 保持片38，各弹性保持片38、保持槽39的与半导体晶片W非接触的背面侧 成角为大致直角，因此，保持件30A的弹性保持片38经由保持槽39保持半 导体晶片W时，有时弹性保持片38向斜上方挠曲而与相邻接的其他弹性保 持片38嵌合而干涉。

该干涉的结果为，存在在从容器本体取下盖体20时，挠曲的弹性保持 片38在与相邻接的弹性保持片38干涉的状态下不回复到原来的位置、给半 导体晶片W的保持带来障碍而招致半导体晶片W晃荡、滑动、损伤、污染的 问题。该问题在半导体晶片W的收纳张数少、保持半导体晶片W的弹性保持 片38和不保持半导体晶片W的弹性保持片38邻接的情况下表现得显著。

发明内容

本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于提供一种使保持件相对于基板 的接触区域减少、能够降低基板的污染的基板收纳容器。并且，提供一种抑 制挠曲的弹性片与相邻接的其他弹性片的干涉、能够防止基板的晃荡、滑动、 损伤、污染的基板收纳容器。

在本发明中，为了解决上述问题，在能够整列收纳多张基板的容器本体 和其盖体之间，夹有保持基板的保持件，其特征在于，

保持件包含：可挠性的多个弹性片，从盖体的内侧向收纳于容器本体中 的基板方向延伸，沿多张基板的整列方向排列；以及保持槽片，形成在弹性 片上，接触保持基板的周缘部，使这些弹性片和保持槽片随着从盖体的内侧 向着基板方向而逐渐弯曲而朝向基板的宽度方向外侧，使对于基板周缘部的 保持槽片的接触保持区域减少。

此外，能够将容器本体形成为上部开口的大致箱形，在其内部拆装自如 地嵌入至少上部开口的盒，在该盒的两侧壁内表面上分别并排地形成基板用 的整列支承槽。

并且，能够具备与基板的周缘部大致相对置的一对弹性片，该一对弹性 片沿多张基板的整列方向配列，使各弹性片从盖体的内表面突出而在其顶端 部形成保持槽片，使这些弹性片和保持槽片弯曲成大致半圆弧形而朝向基板 的宽度方向外侧。