[发明专利]避振控制系统

权利要求书

1.一种避振控制系统，其安装在配置有激振侧致动器的装置上， 该激振侧致动器具有可向1个轴向移动的激振侧可动件，该避振控制 系统用于在将物体载置于所述激振侧可动件上，使该激振侧可动件移 动时，抑制所述装置上产生的振动，

其特征在于，具有：

存储部，其存储所述激振侧致动器的模型运算参数，同时，存 储由所述激振侧可动件的质量和所述物体的质量组合而成的激振侧 可动质量的数据；

运算部，其至少使用所述模型运算参数和所述激振侧可动质量 的数据，模拟所述激振侧致动器的理想动作，计算与使所述激振侧可 动质量移动时的加减速推力相关的参数；

避振侧致动器，其具有固定在所述装置上的避振侧驱动部、和 由该避振侧驱动部驱动而向所述轴向移动的避振侧可动件；以及

避振侧控制器，其基于由所述运算部求出的与所述加减速推力 相关的参数，确定所述避振侧驱动部的控制内容，对所述避振侧驱动 部的动作进行控制，以通过使所述避振侧可动件移动，将用于消除所 述激振侧可动质量移动时所述装置上产生的反作用力的力，作用在所 述装置上。

2.根据权利要求1所述的避振控制系统，其特征在于，

与所述加减速推力相关的参数是所述激振侧可动质量移动时的 推力、扭矩、加速度或角加速度。

3.根据权利要求1所述的避振控制系统，其特征在于，

所述运算部设置在控制所述激振侧致动器的动作的激振侧控制 器内。

4.根据权利要求1所述的避振控制系统，其特征在于，

所述避振侧控制器具有摩擦推力推定部，其用于推定所述避振 侧可动件移动时产生的摩擦推力，所述避振侧控制器基于该摩擦推力 推定部推定出的摩擦推力和与所述加减速推力相关的参数，确定所述 避振侧驱动部的控制内容。

5.根据权利要求1所述的避振控制系统，其特征在于，

所述避振侧控制器从由所述运算部求出的与所述加减速推力相 关的参数中，提取激励使所述装置产生固有振动的成分，使用该成分 确定所述避振侧驱动部的控制内容。

6.一种避振控制系统，其安装在配置有多台激振侧致动器的装 置上，该激振侧致动器具有可向1个轴向移动的激振侧可动件，该避 振控制系统用于在将物体载置于向预先确定的轴向移动的至少1个 激振侧可动件上，使该激振侧可动件移动时，抑制所述装置上产生的 振动，

其特征在于，具有：

存储部，其存储激振侧可动件向所述预先确定的轴向移动的激 振侧致动器的模型运算参数，同时，存储由向所述预先确定的轴向移 动的激振侧可动件的质量和所述物体的质量组合而成的激振侧可动 质量的数据；

运算部，其至少使用所述模型运算参数和所述激振侧可动质量 的数据，模拟所述激振侧致动器的理想动作，计算与使所述激振侧可 动质量移动时的加减速推力相关的参数；

避振侧致动器，其具有固定在所述装置上的避振侧驱动部、和 由该避振侧驱动部驱动而向所述预先确定的轴向移动的避振侧可动 件；以及

避振侧控制器，其基于由所述运算部求出的与所述加减速推力 相关的参数，确定所述避振侧驱动部的控制内容，对所述避振侧驱动 部的动作进行控制，以通过使所述避振侧可动件移动，将用于消除所 述激振侧可动质量向所述预先确定的轴向移动时所述装置上产生的 反作用力的力，作用在所述装置上。

7.根据权利要求6所述的避振控制系统，其特征在于，

与所述加减速推力相关的参数是所述激振侧可动质量移动时的 推力、扭矩、加速度或角加速度。

8.根据权利要求6所述的避振控制系统，其特征在于，

所述避振侧控制器具有摩擦推力推定部，其用于推定所述避振 侧可动件移动时产生的摩擦推力，所述避振侧控制器基于该摩擦推力 推定部推定出的摩擦推力和与所述加减速推力相关的参数，确定所述 避振侧驱动部的控制内容。

9.根据权利要求6所述的避振控制系统，其特征在于，

所述避振侧控制器从由所述运算部求出的与所述加减速推力相 关的参数中，提取激励使所述装置产生固有振动的成分，使用该成分 确定所述避振侧驱动部的控制内容。