[发明专利]避振控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种避振控制系统，其对配置有致动器的装置随着 上述致动器的动作而产生的振动进行抑制，该致动器基于控制指令使 物体向规定方向移动。

背景技术

当今，通过控制器控制动作从而使工件或产品等物体向规定方 向移动的致动器被用在各种装置，例如半导体制造装置、各种工作机 械、以及输送装置等中。具有这样的致动器(以下称为“激振侧致动 器”)的装置，由于该激振侧致动器动作时产生的反作用力变成激振 力，所以不可避免地产生振动。特别是具有通过将旋转型电动机与滚 珠丝杠组合获得推力这种类型的激振侧致动器、或者通过线性电动机 获得推力这种类型的激振侧致动器等的装置，在使物体移动过程中的 加速或减速时产生较大的激振力。

例如一边通过上述激振侧致动器使刀具移动一边对工件进行加 工的工作机械、或者一边通过上述激振侧致动器使工件移动一边加工 该工件的工作机械等，如果在加工时产生较大的激振力，则工作机械 发生振动，其结果，激振侧致动器以及工件也振动，因此使加工精度 下降。为了在工件上实施高形状精度或高位置精度的加工，希望尽可 能抑制装置(工作机械)随着激振侧致动器的动作而产生的振动。另 外，通过上述激振侧致动器进行移动而将工件或产品等向规定位置输 送的输送装置，为了防止输送品与输送装置或其他输送品发生碰撞而 损伤、或输送品落下，希望尽可能地抑制随着激振侧致动器的动作而 产生的激振力。

作为抑制装置随着激振侧致动器的动作而产生的振动的手段， 已知例如专利文献1中记载的主动质量阻尼器(active mass damper)。 该主动质量阻尼器由以下部分构成：支撑装置，其在水平方向上对锤 进行支撑；锤驱动装置，其对锤进行驱动；以及控制器，其对锤驱动 装置进行控制，该主动质量阻尼器以锤的移动方向与加工机上的第1 移动部的移动方向平行的方式配置在加工机上，从而抑制上述振动。 此时，控制器根据向第1移动部的驱动部发出的扭矩指令值和向其他 移动部的驱动部发出的扭矩指令值，对锤驱动装置进行前馈控制，同 时，基于锤的位移对锤驱动装置进行反馈控制。

专利文献1：日本特开2005-212008号公报

发明内容

然而，专利文献1所记载的主动质量阻尼器中的锤驱动装置的 前馈控制是基于向第1移动部的驱动部发出的扭矩指令值和向其他 移动部的驱动部发出的扭矩指令值而进行的，由于这些扭矩指令值包 含摩擦扭矩或噪声等干扰，所以无法进行与加工机产生振动的原因即 加减速扭矩成分对应的前馈控制。因此，即使将上述前馈控制和基于 锤的位移而进行的锤驱动装置的反馈控制组合，也很难高精度地消除 因激振侧致动器(第1移动部)的动作而产生的激振力，其结果是， 也很难高精度地抑制伴随着激振侧致动器的动作而产生的振动。

本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，获得一种避振 控制系统，其易于高精度地消除因激振侧致动器的动作而产生的激振 力，从而抑制配置有该激振侧致动器的装置的振动。

为了实现上述目的，本发明的避振控制系统安装在配置有激振 侧致动器的装置上，该激振侧致动器具有可向1个轴向移动的激振侧 可动件，该避振控制系统用于在将物体载置于激振侧可动件上，使该 激振侧可动件移动时，抑制上述装置上产生的振动，其特征在于，具 有：存储部，其存储激振侧致动器的模型运算参数，同时，存储由激 振侧可动件的质量和上述物体的质量组合而成的激振侧可动质量的 数据；运算部，其至少使用模型运算参数和激振侧可动质量的数据， 计算与使激振侧可动质量移动时的加减速推力相关的参数；避振侧致 动器，其具有固定在上述装置上的避振侧驱动部、和由该避振侧驱动 部驱动而向上述轴向移动的避振侧可动件；以及避振侧控制器，其基 于由运算部求出的与加减速推力相关的参数，确定避振侧驱动部的控 制内容，对避振侧驱动部的动作进行控制，以通过使避振侧可动件移 动，将用于消除激振侧可动质量移动时上述装置上产生的反作用力的 力，作用在上述装置上。