[发明专利]触摸面板装置及其制造方法

权利要求书

1.一种触摸面板装置，其具有作为检测出所接触的接触体的位置 的区域的触摸区域、和设置在所述触摸区域外侧的边框区域，其特征 在于，具备：

形成在所述触摸区域并由ITO构成的位置检测用电极，和

配置在所述边框区域，与所述位置检测用电极电连接的配线部，

所述配线部包括：从所述位置检测用电极引出并由ITO构成的第 一图案膜、叠层于所述第一图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠 层于所述第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜，

所述配线部通过光刻法形成。

2.一种触摸面板装置，其具有作为检测出所接触的接触体的位置 的区域的触摸区域、和设置在所述触摸区域外侧的边框区域，其特征 在于，具备：

形成在所述触摸区域并由ITO构成的位置检测用电极，和

配置在所述边框区域，与所述位置检测用电极电连接的配线部，

所述配线部包括：从所述位置检测用电极引出并由ITO构成的第 一图案膜、叠层于所述第一图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠 层于所述第二图案膜并由铝或铝合金构成的第三图案膜，

所述配线部通过光刻法形成。

3.一种触摸面板装置的制造方法，所述触摸面板装置具备形成在 作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域的位置检测用电 极、和配置在所述触摸区域外侧的边框区域并与所述位置检测用电极 电连接的配线部，所述配线部包括：从所述位置检测用电极引出并由 ITO构成的第一图案膜、叠层于所述第一图案膜并由IZO构成的第二 图案膜、和叠层于所述第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜， 所述制造方法的特征在于，包括：

依次叠层ITO层、IZO层、和银层或银合金层的工序；

通过光刻法对所述银层或银合金层、和所述IZO层进行图案化， 形成所述第三图案膜和所述第二图案膜的工序；和

通过光刻法对所述ITO层进行图案化，形成所述第一图案膜的工 序。

4.一种触摸面板装置的制造方法，所述触摸面板装置具备形成在 作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域的位置检测用电 极、和配置在所述触摸区域外侧的边框区域并与所述位置检测用电极 电连接的配线部，所述配线部包括：从所述位置检测用电极引出并由 ITO构成的第一图案膜、叠层于所述第一图案膜并由IZO构成的第二 图案膜、和叠层于所述第二图案膜并由铝或铝合金构成的第三图案膜， 所述制造方法的特征在于，包括：

依次叠层ITO层、IZO层、和铝层或铝合金层的工序；

通过光刻法对所述铝层或铝合金层、和所述IZO层进行图案化， 形成所述第三图案膜和所述第二图案膜的工序；和

通过光刻法对所述ITO层进行图案化，形成所述第一图案膜的工 序。