[发明专利]触摸面板装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种触摸面板装置及其制造方法。 

背景技术

近年来，用于检测接触位置的触摸面板装置被广泛使用(参照例如专利文献1)。触摸面板装置在多数情况下与例如液晶显示面板等显示装置重叠设置。 

触摸面板装置根据其动作原理，可以分类为电阻膜方式、静电电容方式(例如专利文献1)、红外线方式、超声波方式、电磁诱导方式等。其中，静电电容方式的触摸面板装置对显示装置的光学特性的损害较小，适用于显示装置。 

电容方式的触摸面板装置在一般情况下，具有设置在触摸区域的位置检测用的透明电极、设置在该透明电极的周缘部分的多个电极端子、和检测流过电极端子的电流的电流检测电路。触碰触摸区域时，透明电极在触碰位置上经由介于透明电极和人体间的绝缘体的静电电容接地。由触碰位置的不同，在各电流端子和接地点之间的电阻值产生变化，所以用电流检测电路检测出该变化，以此检测出触碰位置。 

另外，触摸面板装置具有例如矩形的触摸区域、和在其周围形成的边框区域。在边框区域设有上述电极端子和电流检测电路，并且形成有连接这些电极端子和电流检测电路的引出配线。上述透明电极、电极端子和引出配线，通常由丝网印刷等印刷法形成(参照例如专利文献2)。 

专利文献1：日本专利特开2003-66417号公报 

专利文献2：日本专利特表2003-526853号公报 

发明内容

但是，对于触摸面板装置，在确保触摸区域的面积尽量大的同时， 要求装置全体小型化。因此，优选尽可能地缩小边框区域。 

但是，上述以往的印刷法很难缩小触摸面板装置的边框区域。即，虽然用印刷法能够比较容易地制造触摸面板装置，但存在需要比较大的对准裕量和印刷的渗透等问题，所以难以精密地形成配线和电极等的图案。例如从移动设备等来看，近年来显示面板的小型化和窄边框化在不断发展，触摸面板装置的窄边框化成为非常重要的问题。 

本发明借鉴上述诸点而完成，目的在于谋求触摸面板装置的窄边框化，并且提高可靠性。 

为了达成上述目的，本发明的触摸面板装置，是具有作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域、和设置在上述触摸区域外侧的边框区域的触摸面板装置，其具备：形成在上述触摸区域并由ITO构成的位置检测用电极、和配置在上述边框区域并与上述位置检测用电极电连接的配线部，上述配线部包括：从上述位置检测用电极引出并由ITO构成的第一图案膜、叠层于上述第一图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠层于上述第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜。 

另外，本发明的触摸面板装置，是具有作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域、和设置在上述触摸区域外侧的边框区域的触摸面板装置，其具备：形成在上述触摸区域并由ITO构成的位置检测用电极、和配置在上述边框区域并与上述位置检测用电极电连接的配线部，上述配线部包括：从上述位置检测用电极引出并由ITO构成的第一图案膜、叠层于上述第一图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠层于上述第二图案膜并由铝或铝合金构成的第三图案膜。 

所述配线部优选通过光刻法形成。 

另外，本发明的触摸面板装置的制造方法，是制造以下触摸面板装置的制造方法，该触摸面板装置具备形成在作为检测出所接触的接触体的位置的区域的触摸区域的位置检测用电极、和配置在上述触摸区域外侧的边框区域并与上述位置检测用电极电连接的配线部，上述配线部包括：从上述位置检测用电极引出并由ITO构成的第一图案膜、叠层于上述第一图案膜并由IZO构成的第二图案膜、和叠层于上述第二图案膜并由银或银合金构成的第三图案膜，上述制造方法包括：依 次叠层ITO层、IZO层、和银层或银合金层的工序；通过光刻法对上述银层或银合金层、和上述IZO层进行图案化，形成上述第三图案膜和上述第二图案膜的工序；和通过光刻法对上述ITO层进行图案化，形成上述第一图案膜的工序。