[发明专利]制造固态成像装置的方法无效

专利信息
申请号: 200780048134.9 申请日: 2007-12-19
公开(公告)号: CN101569012A 公开(公告)日: 2009-10-28
发明(设计)人: 渡边万次郎 申请(专利权)人: 富士胶片株式会社
主分类号: H01L27/14 分类号: H01L27/14;H01L23/02;H01L31/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 陈 平
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 制造 固态 成像 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种制造固态成像装置的方法,其中将固态成像元件晶片粘合到 光透射性基板上以产生粘合的基板,所述光透射性基板的一个表面上形 成了隔体,以包围形成于所述固态成像元件晶片上的固态成像元件,并 且在所述隔体之间形成了沟道;然后将所述粘合的基板与各个固态成像 元件对应地分割,所述制造固态成像装置的方法包括以下步骤:

将载体粘合到所述光透射性基板的与其上形成所述沟道的表面相 反的表面上,其中将保护所述光透射性基板的表面的保护胶带粘附在所 述光透射性基板的与其上形成所述沟道的表面相反的表面上,将自剥离 双面胶带粘附在所述保护胶带上,并且通过所述自剥离双面胶带将所述 载体粘合到所述光透射性基板上,所述自剥离双面胶带的至少一个面通 过加热或被紫外线辐照而自剥离,

其中在所述自剥离双面胶带和所述保护胶带中安置开口,通过所述 开口,可以将所述固态成像元件晶片成像。

2.根据权利要求1所述的制造固态成像装置的方法,其中

所述载体是由玻璃、树脂或金属形成的片材。

3.根据权利要求1所述的制造固态成像装置的方法,其中

在所述自剥离双面胶带利用紫外线自剥离的情况下,所述载体由具 有光透射性的片材形成。

4.根据权利要求1所述的制造固态成像装置的方法,其中

在所述自剥离双面胶带被加热而自剥离的情况下,在比所述隔体从 所述固态成像元件晶片或所述光透射性基板上剥离、或所述隔体由于所 述固态成像元件晶片和所述光透射性基板之间的热膨胀系数差引起的 翘曲而断裂的温度更低的温度下,加热所述自剥离双面胶带。

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