[发明专利]再生装置以及再生方法

权利要求书

1.一种液体再生装置，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液即使用过的清洗液，并对其进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液即再生后的清洗液，该液体再生装置的特征在于，

包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一以及第二机构，

各机构包含：

回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收；

再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液并对其进行再生；

贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的再生清洗液；以及

供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，

在所述第一机构正在回收所述使用清洗液时，所述第二机构能够再生预先回收的使用清洗液。

2.根据权利要求1所述的液体再生装置，其特征在于，

在所述第一以及第二机构中，进一步具备对所述回收单元、所述再生单元、所述贮存单元以及所述供给单元进行控制的控制单元。

3.根据权利要求2所述的液体再生装置，其特征在于，

在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元具备对回收的所述使用清洗液进行贮存的再生罐以及设置在该再生罐中的能够对所述使用清洗液进行加热的加热器。

4.根据权利要求3所述的液体再生装置，其特征在于，

在所述第一以及所述第二机构中，进一步具备与所述再生罐上部连接的、用于进行排气·减压的排气单元。

5.根据权利要求2至4的任何一项所述的液体再生装置，其特征在于，

在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元和/或所述供给单元具备能够检测贮存液量的检测单元。

6.根据权利要求5所述的液体再生装置，其特征在于，

所述控制单元能够根据所述第一以及所述第二机构的所述检测单元检测出的所述使用清洗液和/或所述再生清洗液的量，控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元。

7.根据权利要求3或4所述的液体再生装置，其特征在于，

在所述第一以及所述第二机构中，进一步具备与所述再生罐底部连接的、提取并废弃所述使用清洗液的再生后残渣的废弃单元。

8.根据权利要求1所述的液体再生装置，其特征在于，

在所述第一以及所述第二机构中，前再生单元具备对所述使用清洗液的蒸馏部分进行冷却液化，做成所述再生清洗液的冷却单元。

9.根据权利要求7所述的液体再生装置，其特征在于，

进一步具备给所述第一以及所述第二机构的所述冷却单元供给冷却水的冷却水供给单元。

10.一种清洗液再生方法，该清洗液再生方法使用液体再生装置，

该液体再生装置具备：回收单元，对使用清洗液的处理装置的使用清洗液进行回收；再生单元，对回收的所述使用清洗液进行再生，贮存再生清洗液；供给单元，向所述处理装置供给所述再生清洗液；以及控制单元，控制所述回收单元、再生单元、以及所述供给单元，

该清洗液再生方法的特征在于，

包含：

通过所述回收单元向所述再生单元供给使用清洗液的工序；

通过所述再生单元将所述使用清洗液再生为再生清洗液的工序；以及

通过所述供给单元向所述处理装置供给所述再生清洗液的工序，

掌握各工序的清洗液的处理状况来进行控制以便能够同时进行这些工序。

11.一种清洗液再生方法，从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液，该清洗液再生方法的特征在于，

通过对进行所述使用清洗液的回收以及再生、和所述再生清洗液的供给的多个清洗液再生处理流程进行组合，连续地回收所述使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给所述再生清洗液。