[发明专利]再生装置以及再生方法

说明书

相关技术的交叉引用

本申请基于先前在2006年12月27日递交的PCT申请号PCT/JP2006/326079，并享受其优先权的好处，其全部内容被收容于本申请中，以资参考。

技术领域

本发明涉及在液晶或半导体等中使用的清洗液以及其他液体的液体再生装置以及再生方法。

背景技术

目前，清洗液等一旦被使用过后就原样地被废弃，或者可以将其贮存在废弃罐中进行另外的再生处理，作为相同的清洗液等来使用，或者用于其他的用途。例如，在使用狭缝喷嘴进行涂敷的方法中，在涂敷工序中为了清洗不需要涂敷的部分或装置，至今仍使用大量的清洗液，将使用完的清洗液贮存在预定的贮存罐中，并实施另外的处理。该处理的结果，可以作为再生清洗液用于以下的场合。

即，需要始终清洗表面的底漆涂敷辊(priming roller)使用大量的清洗液来进行清洗，当只通过未使用的清洗液来进行清洗时，需要使用大量的清洗液以及废弃大量的使用过的清洗液，所以是与节省资源相违背的。因此，例如在专利文献1中，把已经用于清洗底漆涂敷辊的清洗液(上述进行了另外再生处理后的清洗液)用于预备清洗，把干净的清洗液(未使用过的清洗液)用于精洗，由此来谋求尽可能地削减使用的清洗液。

但是，即使对预备清洗以及精洗使用各自不同的清洗液，但仍然要废弃某种清洗液，结果需要大量的清洗液。传统上，一直是废弃已经使用过的清洗液，但出于环境的考虑或者为了削减清洗液的成本，在本公司配备大型的再生装置(专利文献2)，或者最近还委托再循环利用业者进行再生利用。假设即使在贮存已使用过的清洗液，通过另外的提炼装置进行再利用时，仍然需要贮存量较大的清洗液。此外，还销售如果放入数公升的已使用过的清洗液，则在数小时后能得到再生清洗液的单体的清洗液再循环利用机构。但是，因为该清洗液再循环利用机构是可以批量处理少量的清洗液的程度的机构，所以虽然也许能用于涂敷现场等，但是不适用于连续使用大量清洗液的工厂等。

专利文献1：特开2005-329340号公报

专利文献2：特开平9-49093号公报

发明内容

在本公司内配备有大型的清洗液再生装置时，或者在由再循环利用业者进行再生时，对从所有工序排出的清洗液进行回收，并进行再生。因此，除了清洗液之外还混入了数种类的处理液，为了像专利文献2那样能够分离低沸点污染成分和高沸点污染成分，需要使用具备蒸发部以及精馏部的复杂的结构。在本公司不具备大型的清洗液再生装置的工厂中，必须贮存已经使用过的清洗液，并定期地交给再循环利用业者，这样需要确保用于贮存的空间，并且因为到再生为止需要某种程度的时间，所以必须准备相当量的清洗液。

本发明是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于提供一种可以即时自动地对处理装置排出的已使用过的清洗液进行再生处理，并且再次自动地向处理装置供给再生后的清洗液的装置和方法。

为了解决上述课题，提供一种液体再生装置，其包含：回收已使用过的液体(包含清洗液)的回收单元；对该已使用过的液体进行再生使其成为再生液体的液体再生装置。作为具体的应用例，提供一种液体再生装置，在具备清洗功能的处理装置中包含：对用于清洗后的结果的，包含其他种类的化合物的已使用过的清洗液(以下称为“使用清洗液”)进行回收的回收单元；对使用清洗液进行再生，生成再生后的清洗液(以下称为“再生清洗液”)的再生单元；以及向所述处理装置供给该再生清洗液的供给单元。通常，从一个处理装置排出的清洗液没有包含太多的不同的成分。因此，不需要复杂的功能，可以作为专用的液体再生器与各处理装置连接使用。

该液体再生装置具备：回收所述使用清洗液的回收单元；对所述回收单元回收的使用清洗液进行蒸馏分离生成再生清洗液的再生单元；以及为了清洗等，再次向处理装置供给该再生清洗液的供给单元。

此外，还可以把包含以下工序的再生方法作为一实施方式，这些工序是：回收使用清洗液的工序；对使用清洗液进行再生生成再生清洗液的工序；以及再次向处理装置供给该再生清洗液的工序。

更具体地说，可以提供以下的技术。