[发明专利]用于薄膜金属层形成的成核层有效
申请号: | 200780048674.7 | 申请日: | 2007-12-28 |
公开(公告)号: | CN101573228A | 公开(公告)日: | 2009-11-04 |
发明(设计)人: | 瓦尔特·司托斯;克拉克·I·布莱特 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | B32B15/00 | 分类号: | B32B15/00;B32B17/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 郇春艳;樊卫民 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 薄膜 金属 形成 成核 | ||
1.一种在柔性聚合物支承体上形成导电膜的方法,该 方法包括:
a)在所述柔性聚合物支承体上形成不连续种子层,所 述种子层包括氧化镓、氧化铟、氧化镁、氧化锌、氧化锡或 者含有它们的混合型氧化物或掺杂型氧化物的混合物;以及
b)在所述不连续种子层上沉积可延展的、透射可见光 的金属层,其中所述导电膜可以在面内方向拉伸至少3%, 而没有电连续性损耗并且没有在金属层的表面中形成通过 肉眼在0.25米的距离处检测的可见的不连续性。
2.根据权利要求1所述的方法,还包括在所述支承体 和所述不连续种子层之间形成有机支承体涂层。
3.根据权利要求1所述的方法,其中所述不连续种子 层包括氧化锌。
4.根据权利要求1所述的方法,其中所述不连续种子 层使用包括氧化锌:氧化铝、氧化铟:氧化锌、氧化铟:氧化锡、 氧化铟:氧化锡:氧化锌、铟:锌、铟:锡、氧化铟镓锌、 Zn(1-x)MgxO:Al或MgIn2O(4-x)的溅射靶而形成。
5.根据权利要求1所述的方法,其中所述金属层包括 银。
6.根据权利要求1所述的方法,还包括:
c)在所述金属层上形成第二不连续种子层,所述第二 不连续种子层包括氧化镓、氧化铟、氧化镁、氧化锌、氧化 锡或者含有它们的混合型氧化物或掺杂型氧化物的混合物; 以及
d)在所述第二不连续种子层上沉积第二可延展的、透射 可见光的金属层。
7.根据权利要求6所述的方法,还包括在所述金属层 之间形成聚合物间隔层从而得到阻隔红外线的法布里-珀罗 叠层。
8.根据权利要求1所述的方法,其中所述不连续种子 层的物理厚度大于0并且小于5nm,并且所述金属层的物理 厚度为5至50nm。
9.根据权利要求1所述的方法,其中所述膜的可见光 透射比为至少70%并且片电阻率小于20欧姆每平方。
10.一种导电膜,包括柔性聚合物支承体;在所述支承 体上的不连续种子层,所述种子层包括氧化镓、氧化铟、氧 化镁、氧化锌、氧化锡或者含有它们的混合型氧化物或掺杂 型氧化物的混合物;以及在所述种子层上的可延展的、透射 可见光的金属层,其中所述导电膜可以在面内方向拉伸至少 3%,而没有电连续性损耗并且没有在金属层的表面中形成通 过肉眼在0.25米的距离处检测的可见的不连续性。
11.根据权利要求10所述的膜,还包括在所述支承体 和所述不连续种子层之间的有机支承体涂层。
12.根据权利要求10所述的膜,其中所述不连续种子 层包括氧化锌。
13.根据权利要求12所述的膜,其中所述氧化锌掺杂有 铝或氧化铝。
14.根据权利要求10所述的膜,其中所述不连续种子 层包括氧化铟:氧化锌、氧化铟:氧化锡、氧化铟镓锌、 Zn(1-x)MgxO:Al或MgIn2O(4-x)。
15.根据权利要求10所述的膜,还包括在所述金属层 上的第二不连续种子层和在所述第二不连续种子层上的第 二金属层。
16.根据权利要求15所述的膜,其中所述金属层被聚 合物间隔层分开并且提供阻隔红外线的法布里-珀罗叠层。
17.根据权利要求15所述的膜,还包括第三、第四、 第五或第六不连续种子层和在所述第二金属层上的第三、第 四、第五或第六金属层,其中所述金属层被聚合物间隔层分 开并且提供阻隔红外线的法布里-珀罗叠层。
18.根据权利要求10所述的膜,其中所述不连续种子 层的物理厚度大于0并且小于5nm,并且所述金属层的物理 厚度为5至50nm。
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