[发明专利]用于薄膜金属层形成的成核层有效
申请号: | 200780048674.7 | 申请日: | 2007-12-28 |
公开(公告)号: | CN101573228A | 公开(公告)日: | 2009-11-04 |
发明(设计)人: | 瓦尔特·司托斯;克拉克·I·布莱特 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | B32B15/00 | 分类号: | B32B15/00;B32B17/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 郇春艳;樊卫民 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 薄膜 金属 形成 成核 | ||
相关申请的交叉引用
本专利申请要求2006年12月28日提交的临时专利申请 No.60/882,389的提交日的优先权,该专利的公开内容以引用方式并入 本文中。
技术领域
本发明涉及具有高可见光透射比和低电阻的导电膜。这些膜适用 于例如电磁干扰(EMI)屏蔽和汽车应用。
背景技术
光学膜结合在多种应用中。有时候这些膜采用薄的金属(例如银) 层。光学膜用于柔性基底上的多种构造中以获得有益的特性。对于光 学膜代表性的用途包括阳光控制膜、EMI屏蔽膜、窗膜和导电膜。这 些膜通常需要高的可见光透光率,并且如果被金属化,需要低的电阻 率。
在导电金属层中的透光率和电阻率之间存在成比例的关系。这种 关系使得形成既具有高可见光透光率又具有低电阻率的膜的通常目标 是微妙的平衡,因为改变无论哪个特性的性能都会不利地影响另一个 特性。当形成金属层时,金属可以在其沉积时凝聚。这可以导致非均 匀的膜,并且可能需要涂敷相对厚的金属层从而得到高度导电的膜或 有效的屏蔽膜。这种凝聚或岛状物的形成使得透光率减弱并且引起电 阻率增加。
具有高透光率和高导电率的柔性光学膜一直是需要的,并且用于 制备这类膜的方法也一直是需要的。
发明内容
在一个方面,本发明提供一种在柔性聚合物支承体上形成导电膜 的方法,该方法包括在柔性聚合物支承体上形成种子层以及在种子层 上涂敷可延展的、透射可见光的金属层,该种子层包括氧化镓、氧化 铟、氧化镁、氧化锌、氧化锡或它们的混合物(包括混合型氧化物和 掺杂型氧化物)。
在第二方面,本发明提供一种导电膜,包括柔性聚合物支承体; 在支承体上的种子层,包括氧化镓、氧化铟、氧化镁、氧化锌、氧化 锡或它们的混合物(包括混合型氧化物和掺杂型氧化物);以及在种 子层上的可延展的、透射可见光的金属层。
在第三方面,本发明提供一种制备玻璃制品的方法,包括组装玻 璃材料层和导电、透射可见光的膜。膜在种子层的上具有透射可见光 的金属层,该种子层在柔性聚合物支承体上包括氧化镓、氧化铟、氧 化镁、氧化锌或它们的混合物(包括混合型氧化物和掺杂型氧化物)。 玻璃材料和膜粘合在一起成为一体的制品。
本发明所公开的膜和制品当形成时或当经受弯曲、挠曲、拉伸、 变形操作或暴露于腐蚀性环境时,提供对于剥离、断裂或腐蚀增加的 抵抗力,同时仍然保持足够的导电率和良好的EMI屏蔽性能。在一个 实施例中,金属层在膜的大部分区域上(例如在其中需要EMI屏蔽、 加热或类似功能的膜的部分上)是基本上连续的。在一些实施例中, 金属层可以在整个膜上完全连续;并且在其他实施例中,可以图案化 金属层以限定有限数目的孔、洞或通道用于所需的功能(例如,提供 一个或多个频率选择表面或截然不同的导电路径)。
本发明的这些方面以及其它方面在下面的具体实施方式中将显而 易见。然而,在任何情况下,以上概述都不应理解为是对要求保护的 主题的限制,该主题仅受所附权利要求书的限定,并且在审查期间可 以进行修改。
附图说明
图1A-1E是示例性本发明所公开的膜的示意性剖视图。
图2是用于制备下面描述的膜的装置的示意图。
图3是没有种子层或在二氧化钛或氧化锌种子层上沉积的薄的银 层膜的透光率和表面电阻率的图形表示。
图4是示出在多种溅射功率电平下使用氧化锌种子层和银金属层 制备的实施例的透射比的坐标图。
图5是示出使用氧化锌种子层制备的实施例的透射比和反射的坐 标图。
图6是示出使用二氧化钛种子层制备的对比膜的透射比和反射的 坐标图。
在附图的多张图中类似的参考符号表示类似的元件。附图中的元 件未按比例绘制。
具体实施方式
单词“一”、“一个”和“该”与“至少一种”可互换地使用, 是指一种或多种所描述的元件。通过在本发明所公开的涂覆制品中对 于多种元件的位置使用例如“顶上”、“上”、“最上”、“下面” 等取向单词,我们是指元件相对于水平设置的、面向上的支承体的相 对位置。并不预期膜或制品在其制造期间或者之后在空间中应该具有 任何具体取向。
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