[发明专利]光伏装置的制造方法

权利要求书

1.一种光伏装置的制造方法，其特征在于，包括：

在硅基板上形成具有耐蚀刻性的膜的工序；

通过照射激光光束，在上述具有耐蚀刻性的膜上打开多个微细孔 而使基底的硅基板表面露出的工序；以及

对上述硅基板所露出的表面进行蚀刻的工序，

在使上述硅基板表面露出的工序中，在上述微细孔的底部露出的 上述硅基板的表面利用激光光束形成微细凹陷。

2.根据权利要求1所述的光伏装置的制造方法，其特征在于，

上述激光光束是焦点深度被调整为10μm以上的激光光束。

3.根据权利要求1所述的光伏装置的制造方法，其特征在于，

上述微细孔的直径小于邻接的微细孔彼此的中心间的距离。

4.根据权利要求1所述的光伏装置的制造方法，其特征在于，

将上述具有耐蚀刻性的膜上打开的多个微细孔设置在四边格子 点上。

5.根据权利要求1所述的光伏装置的制造方法，其特征在于，

将上述具有耐蚀刻性的膜上打开的多个微细孔设置在三角格子 点上。

6.根据权利要求1所述的光伏装置的制造方法，其特征在于，

在使上述硅基板表面露出的工序中，经由具有与上述多个微细孔 对应的光透射部和光遮蔽部的遮光掩模来照射上述激光光束，由此同 时打开上述多个微细孔。

7.根据权利要求1所述的光伏装置的制造方法，其特征在于，

在使上述硅基板表面露出的工序中，通过电流镜使上述激光光束 在上述膜上进行扫描，由此打开上述多个微细孔。