[发明专利]接触器、探针卡及接触器的安装方法

权利要求书

1.一种接触器，用于在被测试电子元件的测试时确立所述被测试电子元件与电子元件测试装置之间的电连接而与所述被测试电子元件的输入输出端子接触，所述接触器具备：

与所述被测试电子元件的所述输入输出端子电连接的导电部；

在主要面上设有所述导电部的梁部；和

以悬臂支承方式支承所述梁部的台座部，

所述台座部具有：

支承所述梁部的支承区域；和

设有定位用的第1标记的标记形成区域，

在所述支承区域和所述标记形成区域之间设有与所述台座部的其它部分相比强度弱的脆弱部。

2.根据权利要求1所述的接触器，其特征在于，所述脆弱部包括在所述支承区域和所述标记形成区域之间设有的切口、槽或多个通孔。

3.根据权利要求1或2所述的接触器，其特征在于，所述台座部的所述标记形成区域比所述支承区域薄。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的接触器，其特征在于，所述台座部以悬臂支承方式统一支承实质上平行排列的多个所述梁部；

所述台座部的所述标记形成区域沿所述多个梁部的排列方向布置在所述支承区域的两端。

5.根据权利要求4所述的接触器，其特征在于，所述脆弱部沿与所述多个梁部的排列方向实质上垂直的方向设置。

6.一种探针卡，用于在被测试电子元件的测试时确立所述被测试电子元件与电子元件测试装置之间的电连接，所述探针卡具备：

权利要求1～5中任一项所述的接触器；和

安装所述接触器的基板，

所述标记形成区域以所述脆弱部为边界从所述台座部上被切下。

7.一种接触器的制造方法，作为权利要求1～5中任一项所述的接触器的制造方法，具备：

将所述接触器安装到所述基板上的安装步骤；和

将所述标记形成区域从所述台座部切下的切取步骤。

8.根据权利要求7所述的接触器的制造方法，其特征在于，在所述切取步骤中，通过压缩或拉伸所述标记形成区域将所述标记形成区域从所述台座部切下。

9.根据权利要求7或8所述的接触器的制造方法，其特征在于，

所述安装步骤包括：

基于所述基板上形成的第2标记和所述标记形成区域上形成的所述第1标记，相对于所述基板对所述接触器进行定位的定位步骤；和

将所述接触器固定在所述基板上的固定步骤。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的接触器的制造方法，其特征在于，还具备通过采用DRIE(Deep Reactive Ion Etching)法蚀刻所述台座部具有的硅层在所述接触器上形成所述脆弱部的步骤。